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中国集成电路制造装备发展战略 IC China’s manufacturingequipment：Development strategy 叶甜春 YeTianchun 中国科学院微电子所常务副所长 InstituteofCAS director,Microelectronics Deputy 一、前言 集成电路装备业已成为高技术装备产业的典型代表。中国正在成为世界集成电路制造业 的重要区域．同时也将成为集成电路装备商争胜的焦点。相对于集成电路制造业，我国的集 成电路制装备制造业无论从生产规模、研发水平、投资强度以及人才聚集等方面都还有存在 着很大的差距，尚未形成可以支撑自身可持续发展的产业规模。面对强劲的市场和产业发展 需求，建立健康的集成电路装备制造业，开发关键制造装备和具有自主知识产权的先进工 艺，形成具有自主发展能力和核心竞争力的产业链，实现可持续健康发展，已成为我国集成 电路制造业亟待解决的一项具有全局性和战略性意义的核心问题。在近期颁布的国家中长期 科技发展规划中，集成电路制造装备与成套工艺己经列为重大专项，充分显示了中国政府对 这一战略意义的认识和决心。 “十五”期间，863重大专项安排了三种lOOnm核心集成电路关键装备的研发，目前已 经研制出lOOnm8时多晶硅刻蚀机和大倾角离子注入机试生产样机，从而使我国集成电路制 造装备有望实现重大技术跨越。通过该重大专项的实施，有效地促进了国际、国内资源的整 合，其中包括技术、人才、市场、配套零部件，加强了自主创新能力，提升了技术水平：建 立起三个以集成电路制造装备及其配套工艺装备为主的，集先进检测和科研为一体的集成电 路关键装备与工艺的产业化基地，为研制更高水平的集成电路制造关键装备装备，实现科技 成果转化、产业化、规模化和可持续发展奠定了坚实的基础。 同时，一些海外风险投资企业正进入中国进行集成电路装备的研发，其核心团队成员均 有在国际专业集成电路装备公司工作的经历，具有很强的行业背景和产品经验，清楚用户的 要求和市场运作方式，因而其企业组成、产品定义、研发路线、市场战略均具备鲜明的行业 特点。这类企业的出现。为中国集成电路电路装备产业注入了强大活力与生机。 相对国际集成电路装备产业链的优势，我国集成电路装备产业链还很薄弱，虽然经过 “十五”集成电路制造装各重大专项的实施，已经初建起零部件的供应体系，但与国外的配 套环境相比。我们还存在上游基础材料和关键零部件支持和供应体系的缺乏的瓶颈问题，这 与我国现有工业基础相对落后，国内产品在性能、质量、品种方面仍有较太差距有关。 集成电路制造装备要实现产业化，必须具备质量、成本、售后服务等全方位的竞争能 力。因此，如何解决集成电路装备整机的自主创新研发，突破其中的关键技术，在国内建立 整套商业化所需的商业链，带动国内相关领域的产业化发展，确立自己的优势，把集成电路 制造装备本土产业链的进程加快和优化，是今后我们面临着一项重要任务。 -一22-一 三、中国集成电路装备制造业自主创新战略的目标及重点 我国推动经济发展的技术来源今后相当长的时间内仍然是两个途径：一是引进，二是自 主创新。在经济飞速发展的今天，在高度重视技术引进工作的同时，我们应该清醒地认识 到：不是所有的技术都能买来，也不是所有的技术都可以去买。特别是在集成电路装备领 域，一定要在引进消化的基础上形成自主创新能力，在主导产品的关键技术和集成技术上尽 快形成自主开发能力。 中国集成电路装备制造业要形成一定的、可以支撑自身实现可持续发展的产业规模，需 要充分发挥中国的制造成本优势，走自主创新之路。首先需要瞄准我国集成电路产业升级的 需求，取得本土制造厂用户的支持，通过引进消化吸收再创新，研制开发一批关键制造装备 产品，形成整机集成能力，获得自主知识产权。并在整机产品研