偏振差分反射光谱的研究半导体材料的平面内光学各向异性.pdfVIP

第2 6 卷, 第7 期 光 谱 学 与 光 谱 分 析 Vol1 26, N o1 7, pp 11852 1 189 2 0 0 6 年 7 月 Sp ectroscopy an d Spectr al An alysis Ju ly , 2006 1 2 1 3 1 赵 雷 , 陈涌海 , 左玉华 , 王海宁, 时文华 1. 中国科学院半导体研究所, 集成光电子国家重点联合实 室, 北京 100083 2. 中国科学院半导体研究所, 半导体材料科学重点实 室, 北京 100083 3. 中国科学院电子学研究所, 传感技术国家重点实 室, 北京 100080 介绍了偏振差分反射光谱的原理, 并结合半导体材料平面内光学各向异性的来源, 总结了偏振差 分反射光谱作为一种重要的表面、界面分析技术在半导体材料研究中的应用, 并分析指出其在Si 基材料电 光改性研究中将会起到重要作用。 偏振差分反射光谱; 半导体; 平面内光学各向异性; 电光改性 O433, TN 30 11 1 A 10002 0593( 2006)05 与它们成 45b 角, 并平行于样品的( 001) 面内某个光学各向异 引 言 性的主轴方向, 例如[ 110] 方向或者[2 110] 方向( 分别设为x 轴和y 轴) , 相应的振幅反射系数为r x 和r y 。光源发出的光 [1, 2] 光吸收谱和光反射谱能够反映出材料的许多性质 。 经单色仪分光后照射到起偏器上获得线偏振光, 这束线偏振 当光照射到固体材料上时, 由于光与电子、离子间的相互作 光近垂直的入射到样品表面上, 振幅为E0 , 经样品反射后的 用, 电子将以光频在入射光的电矢量方向上做受迫运动, 产 反射光被 PEM 调制, 再经过检偏器, 只剩下平行于检偏器 生极化位移。如果在不同的方向上, 电子产生这种极化位移 偏振方向上的分量, 探测器探测到的光强信号为 的大小不同, 材料就表现出光学各向异性, 并在其吸收谱和 RE 2 $ r $ r I = 0 1+ J 0 ( ) Re + 2J 2 ( ) R e cos 2Xt +