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徐 益 等 :纳米多层膜的界面微结构与超硬度 54 1
纳米多层膜的界面微结构与超硬度
1 ,2 2 1
徐 益 ,钟富平 ,黄 楠
( 1. 西南交通大学 材料学院 ,四川 成都 6 1003 1 ;2 . 重庆工业职业技术学院 , 重庆 400050)
摘 要 : 综述了近年来纳米多层膜界面微结构及超硬度效应 主导作用 。进一步对 TiN/ V0 . 3 Nb0 . 7 N 、TiN/ NbN 膜的弹性性能
的研究进展 ,表明纳米多层膜硬化的主要机制是位错镜像力及 研究 ,也没有发生超模效应 ,因此弹性模量差异是决定氮化物多
hallp etch 模型 ,超模效应及晶格错配引起的交变应变场对硬化 层膜硬度提高的主要因素 。
起次要作用 。
关键词 : 纳米多层膜 ;界面微结构 ;超硬效应
中图分类号 : O48 文献标识码 :A
( )
文章编号 :100 1973 1 2004 05054 104
1 引 言
纳米多层膜是由两种及以上材料以纳米级厚度相互交替生
长而成的成分或结构可调制的多层薄膜结构 。当调制周期 Λ
比薄膜晶格常数大几倍或更长时 ,又称为超晶格 。通过改变材
图 1 TiN/ VN ( 100) 超晶格周期与显微硬度的关系
料组合 、调制周期 Λ及调制比 R ,可制备出多种纳米多层膜 。
( )
Fig 1 Hardness vs multilayer p eriod for 100 oriented TiN/ VN e
从薄膜材料种类可分为金属/ 金属 、陶瓷/ 陶瓷 、金属/ 陶瓷纳米
qitaxial multilayers
多层膜 ;从晶体结构可分为单晶/ 单晶、多晶/ 多晶、非晶/ 多晶、 Chu[ 10 ] 用低温离子束辅助反应磁控溅射沉积多晶 TiN/
非晶/ 非晶纳米多层膜 ;从界面结构可分为同结构共格界面 、异 NbN 多层膜 ,首次发现多晶 TiN/ NbN 多层膜高硬度 ,并在 Λ=
结构共格界面 、非共格界面纳米多层膜等 。 2
5～8nm 时达最大 5200kg/ mm ,且受调制周期 、N2 分压 、离子轰
Yang 等[ 1 ] 在 1977 年首先发现 Au/ Ni 、Cu/ Pd 超晶格在 Λ
击等因素影响 。若沉
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