扩散泵工作区域扩展的探索.pdfVIP

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2015-08-15 发布于安徽
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扩散泵工作区域扩展的探索.pdf

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扩散泵油，前者饱和蒸汽压过高，极限真空受到限制，即使采取分馏措施效果也不佳，不能进入10。3Pa。后者极限真空虽高，但高温下油蒸汽压过低，锅炉压强不理想，高压强段抽速要受很大损失。较理想的是常温下饱和蒸汽压比扩散泵油高一个数量级左右，但高温下油蒸汽压多向油增压泵油靠拢，兼备二类泵油特性的油种。这类产品国外以有一些可备选，国内则祈望扩散泵油厂家能早开发推出新品。无论抽气机理或泵的具体结构，扩增泵都兼备了以扩散携带为主的扩散泵和以粘滞携带为主的油增压泵的特点。在其较宽的工作范围中，抽速曲线的二段不同走向可表征这一特性。图2所示，无论扩增泵或扩散泵，抽速曲线基本可分为二个区域：以4×104Pa为分界点，左边为低压强段，右边为高压强段，由图可见，二个区域的抽速呈现出完全不同的走势。 2500 2 ／、 —— ＼夕／二二 ≮ ／ j ／，／ __ 一一／。沸、、 2000 、仆 | b ，．、奄．飞／、 ‘| ’、 _ i500 _j A ●● 山需矧彳 l ＼_』＼搠醇。醇 1000 帮口～蒋．／7 ＼／＼ 500 ．／、 d，一尹 d，_一．：≯；图2Kz-800扩增泵和108