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小型化球面轮辐栅网的加工工艺 吴亚琴1’2周培章2万遂人1 ‘东南大学电子系统可靠性研究中心 江苏南京 210008 ‘南京三乐电子信息产业集团有限公司 210009 摘要：小直径球面轮辐栅网采用光刻平面栅网一球面成型一电解抛光一热定型的工艺，解决了常规电火 花用该工艺加工栅网难以实现的奇数等分、与小直径轮交接的辐条宽渐变、辐条较多等小型化栅网 的加工问题，无毛刺，不易打火，显著提高了栅控脉冲行波管的可靠性。 关键词：栅网 电火花加工光刻球面成型电解抛光热定型 无截获栅控电子枪是大功率脉冲行波管的核心部件，其功能是用来产生参数形状满足整管要求的 电子注。为了降低栅极脉冲调制电压和功率，提高调制效率，大多在电子枪发射阴极前面加进一个或多 个栅网来控制电流。“’为了减少栅极的电流截获，栅丝应足够细密。由于栅网靠近热阴极，工作温度高， 故常采用高温强度好，逸出功大的钼材制成。 1． 问题的提出 图1是球面轮辐栅网的结构示意图。球面栅网的常规加工方法为在 冲压成球型的毛坯上用电火花加工栅网，其优点是轮的直径好控制、成 本低。但其缺点是毛刺大，轮的同心度和对称度难以保证，渐变辐条和 奇数等分辐条无法加工，而毫米波、小型化栅控脉冲行波管的栅网尺寸 太小几乎无法用电火花加工工艺来实现。随着电真空器件的发展，毫米 波和小型化栅控行波管的研制势在必行。为此解决小型化球面栅网的加 工成了必须要解决的关键问题。 随着集成电路工艺的不断进步，光刻技术日渐成熟。借鉴该技术来 图1轮辐栅网的结构 加工栅网可以解决d,：fL、辐条宽渐变、奇数等分、辐条较多、轮与轮同 心度等问题，且通过电解抛光的栅网表面光洁度好，无毛刺。鉴于以上原因我们采用光刻平面栅网一球 面成型一电解抛光一热定型的工艺来解决小型化栅网的加工难题。 2． 工艺的实施 2．1平面栅网、掩模版的设计 首先根据形变鼍△。、电解抛光余量△2按球面栅网尺寸设计出相应的平面栅网尺寸，再根据蚀刻余量 厶设计出相应的掩模版尺寸。形变量△。是根据计算和经验推算出来的，轮的内径即是由此确定，而通过 确定电解抛光余晕△2和蚀刻余量△3来确定掩模版』：轮辐的宽度。△：和△{经过试验修正一次基本就能确 定，而△。的确定与材料的性能、栅网的曲率半径、球冠的高度以及成型的工艺规范都有关系，往往需要 经过几次试验才能确定。我们认为这些余量的准确选取是能获得合格球面栅网最重要的保证。 2．2光刻平i白i栅网的加工 首先是掩模版的制作，其后在洁净、干燥的钼片．卜均匀的涂胶、前烘，再利用光刻机曝光，并经过 后烘、显影、坚膜、蚀刻、去胶获得符合设计要求的平面栅网。 在整个过程中要注意以下几点： (1)掩模版上一定做好对准记号。 (2)涂胶必须均匀，r月．前烘、后烘一定要做到位，以免出现浮胶现象。 (2)蚀刻的均匀性很重要，蚀刻的溶液及速度对甲面栅网质量的影响较大。 2．3栅嘲的球面成型 120 将光刻平面栅网装入成型模(图2)，加热到适当 温度，在压力机上施加一定的压力成型。为了防止栅网 的轮辐不易断，凹模采用材料较软的基体。成型后的球 面栅网镶在基体内，通过化学腐蚀方法将基体去掉，获 得我们需要的球面栅网。 2．4球面栅网的电解抛光 一 为了去除球面栅网表面的毛刺，提高球面栅网的光 洁度，我们采用电解抛光的方法。同时电解抛光亦可以 调整轮辐的宽度。电解抛光是利用金属表面微观凸点在 特定电解质溶液中和适当电流密度下，首先发生阳极溶 图2球面成型模 解的原理进行的一种方法。栅网作为阳极接直流电源的 正极，用铅作阴极。两者相距一定距离浸入电解液中，在一定温度、电压和电流密度下，通电一段时间 栅网表面上的微小凸起部分(毛刺)便首先溶解，从而逐渐变成平滑光亮的表面。‘2’电解抛光溶液的选 择以及电压和时间的控制非常重要，在电解抛光过程中以调节电压和时间来达到图纸要求的栅网轮辐宽 度尺寸。 2．5全面检验 全卣检验这道工序是必不可少的，因为只有通过检验