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40 高精密厂房中高精密平台控制仿真模拟 2013年 12月 文章编号：1006—1355(2013)06—0040—05 _．-_ ●-__ 口 精密厂房中高精密平台控制仿真模拟 同 刘 洁L。，史 霄2刘红军 (1．郑州航空工业管理学院，郑州 450015； 2．哈尔滨工业大学 深圳研究生院，广东 深圳 518055) 摘 要：为进一步提高高精密厂房中平台的隔振效果，在平台控制中考虑超磁致伸缩作动器的非线性特性对多自 由度平台混合控制系统产生一定的制约作用，因此将四个超磁致伸缩作动器模型植入混合控制系统进行设计。首先 建立一个以空气弹簧和超磁致伸缩作动器为基本元件的多 自由度微振动混合控制系统，然后利用Jiles—Atherton模型 的概念建立超磁致伸缩作动器的非线性及其逆补偿模型，并将所建立的作动器模型与多自由度微振动控制系统结 合。最后对基于作动器模型的混合控制系统与被动控制系统下的高精密平台响应进行对比分析，取得较好的控制效 果，为其在实际工程应用中提供可靠的理论依据。 关键词：振动与波；超磁致伸缩作动器模型；空气弹簧；多自由度；混合控制。 中图分类号：TU352．1+2 文献标识码：A DOI编码：10．3969j／．issn．1006—1335．2013．06．009 SimulationAnalysisofMultiDOFPlatform ControlinHigh PrecisionPlantBasedOilActuatorModels LIU Jie1,2SHI Xiao2LIUHong-jun (1．ZhengzhouInstituteofAeronauticalIndustryManagement，Zhengzhou450015，China； 2．HarbinInstituteofTechnologyShenzhenGraduateSchool，Shenzhen518055，GuangdongChina) Abmraet：Inthecontroldesign，thenonlinearityofgiant-mangetostrictiveactuatorshassomeeffectonhybridcontrol system foramulti—degreeoffreedom(MDOF)platform．Toimprovetheplatfomr ’Svibrationisolationeffectinahigh precisionplant，ofurgiant-magnetostrictiveacutatormodelswerebuiltinhtehybridconrtolsystem．Firstofall，theMDOF hybridconrtolsystem wasestablishedwiht hteairspringsandhteginat-magnetosrtictiveactuatorsashtebasiccomponents． Then，theconceptofJiles-Athertonmodelwasusedtoestablishanonlinearmodelandaninversecompensationmodelfor hteginat-mang etostrictiveacutator．AndhteestablishedmodelswerecombinedwithhteMDOFmicro-vibration conrtol system lateron．Finally,htehighprecisionplatform’Sresponseofthebasedonhybridconrtolsystem actuatormodelwas comparedwiththeresponseofpassivecontrolsystems．Itshowedthatthehybridcon