基于quot;8悬臂梁-质量块quot;结构的新颖x轴音叉式硅微机械陀螺.pdfVIP

第28卷第10期 半导体学报 Vol28No．10 2007年10月 CHINESEJOURNALOFSEMICoNDUCTORS Oct．，2007 基于“8悬臂梁一质量块结构的新颖X轴音叉式 硅微机械陀螺。 段 飞1’2 焦继伟1’’王育才1’2张颖1 宓斌玮1 李金鹏1钱清1王跃林1 (1中国科学院上海微系统与信息技术研究所，传感技术联台国家重点实验室，上海200050) (2中国科学院研究生院，北京100039) 摘要：设计、翩作并测试了一种新颖的x轴昔卫式微机械陀螺．它以“8悬臂梁一质量块”结构来实现Coriolis力的 检测，与常见的单层弹性梁-质量块结构相比．具有更好的模态稳定性；大质量块与薄弹性梁的结构设计有助于获 得低机械噪声与高灵敏度．采用体硅微机械／JnIJ-艺在(111)硅晶圆上试制了基于。8悬臂粱-质量块”结构的微陀 螺，由于在(111)晶向上硅的湿法腐蚀速率极其缓慢，而用氧化硅填充的限制槽限定侧向腐蚀范围，因此这套工艺 能对双层弹性梁的结构尺寸进行精确控制．获得较小的模态失配．在大气环境中，该陀螺具有±200‘／s的量程，角 速度灵敏度为0．15mV／(+／s)，分辨辛约为o．1。／s． 关键词：微机械陀螺；J轴f音叉式陀螺f。8悬臂粱．质量块”结构；限制槽；(111)硅晶圆 PACC：0630G}0710C}4350EEACC：7230；8340 中囤分类号：TP212．12文献标识码：A 文章编号：0253．4177(2007)10．1630-06 加速度计，由于不需要进行局部掺杂．所以有效避免 1引言 了残余应力．本文提出了基于“8悬臂粱．质量块”结 构的x轴微陀螺，由于具有驱动与检测两个自由 作为一种具有广泛应用性的MEMS惯性器件，度，相对于文献[5]而言，器件的设计与制作更为复 微机械陀螺具有体积小、功耗低、易于集成等优点． 杂．比如，整个结构采用音叉式结构；每个质量块又 根据多轴检测的需要，微机械陀螺又分为z轴陀螺 采取了框架式解耦结构的设计，等等．在文献中尚未 与x轴陀螺(y轴陀螺可由z轴陀螺版图旋转90’得见有单片晶圆制作的具有类似结构的面内x轴硅 到)．与z轴陀螺的可动部件只在水平平面内运动 微陀螺报道，相对于以往的单层粱．质量块结构的微 不同·x轴陀螺需要纵向振动产生位移，即所谓的 陀螺而言，这种x轴陀螺具有更好的纵向模态稳定 “out-of-plane”运动位移“]．因此，x轴陀螺的实现 性．在(111)硅晶圆上制作器件的过程中，能够有效 要难于：轴陀螺．文献中对2轴陀螺的报道远多于 精确控制弹性梁的尺寸，得到较小的模态失配．本文 对x轴陀螺的报道，而几乎所有的J轴微机械陀螺 提供了一种实现高稳定性、高灵敏度与低噪声的z 在纵向振动方向上，敏感质量块都是由单层弹性梁 轴微陀螺的方法． 来支撑的o’3]．要让微机械陀螺获得高灵敏度与低 机械噪声，大质量块与薄弹性梁的设计无疑具有优 2设计与模拟 势“]．对于大质量块与薄弹性粱组成的微机械振动 系统．为了有效避免扭摆等干扰模态带来的耦合误 该微机械陀螺的截面如图1所示，对陀螺沿Y 差影响，对称性支撑的“8悬臂梁一质量块”结构可以 轴加以驱动振动，当x轴施以一个角速度时，由于 在获得高灵敏度的同时又不失稳定性嘲． Yazdi等人[‘3用重掺杂自停止腐蚀工艺在单硅个平行纵向位移．并由上下平板电容加以检测．作为 片上制作了具有类似结构的高精度加速度计．然而， 一种音叉式陀螺，它由左右两部分完全相同的结构 这种局部掺杂工艺会不可避免地引起较大的应力效 组成，这两部分具有完全相反的运动。在电路上以差