sol-gel法制备的ZnO：（Al,La）透明导电膜光电性能.pdfVIP

下载本文档

3
0
约 3页
2015-09-05 发布于湖北
举报
版权申诉

sol-gel法制备的ZnO：（Al,La）透明导电膜光电性能.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

sol-gel法制备的ZnO：（Al,La）透明导电膜光电性能.pdf

维普资讯第27卷第 7期电子元件与材料 Vb1．27NO．7 2008年7月 ELECTRoNIC CoMPoNENTS AND MATEIUALS Ju1．2008 sol—gel法制备的ZnO：(Al，La)透明导电膜光电性能曾凡强，战可涛 (北京化工大学理学院，北京 100029) 摘要：通过x射线衍射、紫外一可见分光光度计、扫描电镜和四探针仪分析等手段，考察了退火温度对ZnO：(AI， La)薄膜微观结构、光学和电学性能的影响，A1掺杂浓度对电阻率的影响。结果表明：随退火温度的升高，薄膜 (002) 晶面择优取向生长增强，平均晶粒尺寸增大，电阻率降低，透光率上升。在x(A1)为 1％，退火温度550℃时，薄膜最低电阻率为 1．78x10 Q ·cm，平均透光率超过 85％。关键词：无机非金属材料；ZnO：(AI，La)薄膜：sol—ge1法；光电性能中图分类号：TQ132．41 文献标识码：A 文章编号：1001—2028(2008)07—0047—03 PhotoelectricpropertiesofZnO：(Al，La)transparantconductivethinfilm preparedbysol-gelmethod 一一一一 ZENG Fan-qiang，ZHAN Ke-tao (SchoolofScience，BeUingUniversityofChemicalTecnology，Bering 100029，China) Abstract：Theeffectsoftheannealing temperatureand doped—AIconcentration onthe microstructure，photoelectric propertiesand resistivity ofthin filmswere investigatedby aX—ray diffractometer、a field—emission scanning electron microscope、auv—visspectrophotometerand afour-pointprobeinstrument．Theresultsshow thatwith increasingofthe annealingtemperature，thefilmsgrowmorepreferentiallyalongthe(002)plane，theaveragegrainsizeincreases，theresistivity decreasesandtheoptical~ansmittanceincreases．Thefilm ofwhichtheaverageopticaltransmittanceismorethan85％ and theresistivitvis1．78x10一Q ·cmisobtainedunderthe (A1)of1％andtheannealingtemperatureof550 ℃． Keywords：non·metallicinorganicmaterial；ZnO：(Al，La)thinfilm；sol—gelmethod；photoelectricproperties 铝掺杂氧化锌(AZO)透明导电膜的制备方法主要 2