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配套设备和材料
用，能抗酸腐蚀。
l、SIC棒和温度的关系：
晶。(这也是SiC棒的烧结温度)。2400(2以上开始升华。
一定的厚度，阻止了SiC的继续氧化，因此SiOz保护膜具有很高的化学稳定性。
SiC+3／202一Si魄+coSiC+20z—Si02+C吼
当温度达到1627℃时．逐渐发生下列反应：
2Si0：+SiC一3Si0+CO
全存在温度，也是SIC棒的最高允许工作温度。
2、SIC棒和介质气体的作用
用旧SIC棒或电热丝等其它方法。
氢气(m)在1300。C以上高温时长期使用会使其机械强度降低。
SiC+2Hz—SiH4+C
生反应，生成si。N“使SiC棒电阻增加。
3SiC+2№一Si批+3C
因此，SIC棒的使用寿命长短和温度高低及炉内气氛有着密切的关系。
三、SIC棒的物理特性
SIC棒具有SiC再结晶制品的性质，高温下不变形，具有良好的高温机械强度和
冷热激变-性。当温度提高到1200～14004C时。比常温抗折强度提高一倍。
窑炉的传热分三种基本方式；导热(热传导)、对流传热及热辐射。SIC棒属于
辐射加热。
辐射能(电磁波或光子所带的能量)传到另一物体上被吸收时，产生热效应而
使温度上升，引起化学反应或光电效应成热辐射。
四、SIC棒的电气特性
1、SIC棒导电性能较强，属于高温、}导体。其电阻温度系数不同于金属导体，具有
-184．
配套设备和材料
较大的比电阻。电阻随温度的升高而变化，从室濡至8004C，电阻温度系数为负
值，800
9C以上为正值。(图一)
6000{
5000 l
4000
‘r
3000
、
▲ 。＼ ＼
2000
＼ ¨Mj＼
I ＼、 ＼．＼ ／
电阻率1000 h、、，～二∑：
Q．mm2／m
0
0 20040060080010001200
棒表面温度℃———◆
圈一：硅碳#电阻、温度特性曲线
由TSIC棒的特殊性．因此在初升温阶段要注意随温度上升，电阻减小、电流增
大，使SIC棒瞬间负荷过载而炸裂。
2、表面负荷密度：
SIC棒的表面负荷密度系指棒的发热部单位表面积所允许负载的额定功率数(表
一) (‘=W／CM2)
炉膛温度
棒表面温度 允许最大负荷 棒表面温度 允许最大负荷
℃
1000 3l 27
1100 24 22
1200 2l 19
1250 18 17
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