图案化ZnO纳米线阵列制备与应用的研究进展.pdfVIP

图案化ZnO纳米线阵列制备与应用的研究进展／蒋雪梅等 ·125· 图案化ZnO纳米线阵列制备与应用的研究进展* 蒋雪梅，俎喜红，张政，黄海亮，易国斌 (广东工业大学轻工化工学院，广州510006) 摘要 综述了多种图案化制备ZnO纳米线阵列的技术，包括电子束光刻技术、纳米球蚀刻技术、激光干涉光 刻技术、纳米压印技术和嵌段共聚物蚀刻技术等。介绍了图案化ZnO纳米线阵列在传感器、太阳能电池和UV检测 器等功能器件中的应用进展，分析了图案化ZnO纳米线阵列制备与应用中的优点、意义及存在的问题，并展望了其 未来发展趋势。 关键词 ZnO纳米线图案化技术阵列 中图分类号：TB321 文献标识码：A in and ofPatternedZnONanowire PreparationApplication Arrays Progress Xuemei，ZU Guobin JIANG Xihong，ZHANGZheng，HUANGHailiang，YI Chemical and of (Schoolof 510006) EngineeringLightIndustry，GuangdongUniversityTechnology，Guangzhou AbstractVarious ofZn0nanowire aselectronbeam patterningtechnologies arrays。such 1ithography，nano— intefferometric andblock spherelithography，laser lithography，nanoimprintlithographycopolymernanolithography， arereviewed．Andthe of ZnOnanowireinfunctionaldevices，suchassensors，UVde— applicationspatterned arrays tectorsandsolarcells，etc，areintroduced．The and inthe and of advantages，valuesproblemspreparationapplication ZnOnanowireare its trendis arraysanalyzed，and patterned developmentpreviewed． wordsZnO Key nanowire，patterningtechnology，array 料和信息等各个领域科研工作者的广泛关注。 0 引言 近年来，人们已研究开发出多种控制ZnO纳米线阵列形 具有半导体、光、电、磁等性能的图案化金属和金属氧化 貌、密度、位置、尺寸等的图案化方法，并对其在纳米器件领 物纳米结构材料，因其独特的性能而在太阳能电池[11]、传感域的应用进行了深入研究。本文主要简述了图案化ZnO纳 器[4]、纳米发电机[5