数字全息显微测量技术的发展与最新应用z.pdfVIP

第3 3 卷第6 期 光 学 技 术 Vol . 33 No . 6 　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　　　　　　 2 0 0 7 年 1 1 月 OP TICAL TECHN IQU E Nov . 　2007 文章编号 : (2007) 　　 数字全息显微测量技术的发展与最新应用 1 ,2 1 1 周文静 , 于瀛洁 , 陈明仪 ( 1. 上海大学 精密机械工程系应用光学与检测实验室 , 上海 　200072) (2 . 广东海洋大学 信息学院自动化系 , 广东 湛江 　524088) 摘 　要 : 数字全息显微测量技术是检测显微样本微观结构的重要手段 ,具有系统简单 、非入侵 、动态性好等特点 ,是 一种很好地具有应用前景的技术 。综述了数字全息显微测量技术的发展 ,分析并比较了数字全息显微测量技术与其它 显微测量技术的特点 ;归纳并分析了数字全息显微测量技术的典型光路系统及其特点 ;总结了数字全息显微测量技术的 数值再现算法和误差抑制技术 ;列举了数字全息显微测量技术的最新应用 。 关 键 词 : 光学测量 ; 显微结构测量 ; 数字全息显微技术 ; 数值再现 ; 误差抑制 中图分类号 : O438. 1 　　　文献标识码 : A Recent developments and appl ications of digital microholography ZHOU Wenj ing1 ,2 , YU Yingj ie 1 , CHEN Mingyi1 ( 1. Laboratory of Applied Optics and Metrology , Shanghai University , Shanghai 　200072 , China) (2 . Dep art ment of Automation , Guangdong Ocean University , Zhanjiang 　524088 , China) Abstract : The digital microholograp hy is a important means to measure microstructure of samples , and it is a technology wit h characteristics of simpleness , noncontact and dynamic , and so on . The develop ment of t he digital microholograp hy is summarized . The characteristics of t he digital microholograp hy and ot hers micromeasurement techniques are comp ared and an alyzed. The representative optical systems and t heir sp ecialty are concluded resp ectively . The numerical reconstruction algo rit hms and abe