COIL强激光系统光学薄膜的分析.pdfVIP

C01L H激光最蟪光攀霉膜H究摘要 摘要 本论文从我国高技术研究激光技术军事应用的具体需求出发，围绕化学氧 碘短波强激光技术及光束发射跟踪瞄准光学系统开展短波强激光高反射膜、共 孔径分光膜技术研究。主要涉及以下几方面内容： l、低损耗COIL腔镜及光束控制系统光学薄膜设计 本文研究了coIL腔镜双波段高反射膜设计方法，从提高抗激光损伤观点 设想详细探讨了四分之一标准膜堆和非四分之一膜堆的反射膜设计，计算了高 折射率材料消光系数对反射膜吸收损耗及反射率的影响。导出非四分之一膜堆 设计公式。给出大量设计结果。 分析了强激光系统中的共孔径技术，结合高技术激光实验光路提出光束定 向器中的共孔径光学薄膜元件性能要求。研究了光束定向器中宽波段高反射膜 设计方法和共孔径强激光与弱光分离的分光膜设计。提出了可见和红外双波段 高效增透膜设计思想，导出规整膜系设计的计算公式，给出详细的设计结果。 这些膜系设计思想新颖，设计结果具有很强的实用性。这些研究在国内尚属首 次。 2、COIL强激光膜系淀积技术 研究了COIL系统各类光学薄膜的淀积工艺技术，分析了造成多层膜性能 SiO：膜层缺陷和蒸汽分布不稳定因素，提出了改进技术和方法：分析了多层膜 光学监控中的光源单色性、膜层厚度光楔、膜层吸收对监控信号的影响，计算 了这些因素对不同膜系监控的信号强度变化。提出COIL反射膜和共孔径分光 膜的监控方法：研究了热处理提氧化物介质反射膜的反射率和降低吸收损耗的 物理机理；分析了研究分析了膜厚度均匀性对激光反射镜的波前和偏振特性的 影响，导出了膜层厚度产生波前变化的计算公式。提出改善膜层均匀性的行星 工件夹具系统，得出星工件夹具膜层厚度分布的计算方法和公式。这些技术的 研究极大地改善了COIL高反射膜性能。 3、COIL强光膜性能测试技术 本文详细研究了COIL系统中各类膜系所用材料的光学特性，力学特性； 研究了反射率达99．99％的测试方法，并建立反射测试装置，对各类膜系的反射 率指标进行了严格测试；实验研究了COIL高反射膜总积分散射损耗。建立了 1 COIL强漱光秉藏．先掌薄膜研究：擅晏 耗。发现总积分散射损耗位于1 高反射膜有较大散射损耗，难于达到99．99％反射率的原因。 研究连续波激光对多层膜光学元件的损伤机理；建立强激光照射下反射镜 组的鉴定。认为该成果水平到达90年代中期国际先进水平。有四项技术创新。 2 COIL臻激光暮盖箕岸薄膜研究-擅晏 The forCOILPower Optical Laser Coatings High System Abgtract Withthe of forlaser dissertationstudies requirementsmilitary technology,this reflection and of shared high opticalcoatingssplittercoatingsaperture forchemicaliodine reflectorandbeamdirector oxygen laser(COIL)cavity system．