离子束辅助积氮化钛陶瓷薄膜的机械性能及生物相容性研究.pdfVIP

中文摘要 摘 要 BeamAssisted 本文利用离子束辅助沉积(Ion Deposition)技术在医用不锈钢 317L样品表面、Si片(100)样品表面沉积制各TiN陶瓷薄膜，研究了薄膜的机械 性能和摩擦学性能，包括薄膜表面的纳米硬度、耐磨、摩擦系数以及薄膜与基底 的附羞力：通过x射线光电子能谱(xPs)、x射线衍射(Ⅺm)和俄歇电子能谱 (AEs)分析研究了薄膜的结构特征；运用电化学腐蚀的方法检测了薄膜在Hank’S 模拟体液中的耐腐蚀性能；最后采用成纤维细胞、骨髓细胞体外培养试验考察了 生长于不同薄膜表面的细胞粘附、增殖、展布情况及细胞的形态；并尝试研究了 薄膜的结构特征、机械性能、耐腐性能、生物相容性与制备工艺参数之间的规律。 膜，其处于压应力状态，压应力的存在除成膜时离子束轰击的原因外，溅射原子 携带较大的能量也是造成压应力的主要原因之一。高能和低能离子束的应用与否 对薄膜的晶体结构有较大的影响：只用20KeV高能氮离子束辅助沉积的TiN薄膜 呈(200)择优取向：而只用250eV低能氮离子束辅助沉积的TiN薄膜和用高低能 兼用方法(其中高能离子束的轰击能量在10KeV～40KeV范围内，低能离子束的 eV范围内)合成的TiN薄膜均呈(111)择优取向。AES 轰击能量在50eV～350 深度分析中，由于使用离子束轰击使得薄膜与基底材料之间存在很大的一个混合 区(约180nm)，这也是用IBAD方法沉积薄膜的附着力与耐磨性能好的原因之一。 纳米硬度测试表明：经镀膜修饰的样品均比未镀膜的317L不锈钢基底表面纳 米硬度有很大提高，提高的倍数在4～7倍之间，其中用高低能兼用方法制备的 0114一l样品组TiN薄膜的纳米硬度值是最大，高达44．9GPa。耐磨对比试验结果 表明：317L不锈钢基底上沉积TIN薄膜提高了材料的耐磨性，用高低能兼用方法 制备的0115．1样品较317L的耐磨性能提高了44倍之多，其它样品耐磨性能提高 倍数在4～8倍之间。结合力划痕试验结果表明：只用高能氮离子束轰击方法制备 的0509．1样品的第一临界载荷和分层临界载荷是各样品中最高的，分别为5．08N 和10．58N。影响TiN薄膜与317L基底结合力的原因之一可能是硬薄膜一软基底体 系在加载压头的作用下发生较大的形变，硬度越高的薄膜越容易出现裂纹和脱落， 临界载荷值越小。在高低能兼用方法制各样品中，无论高能离子束还是低能离子 中文摘嚣 柬，轰击能量越大，第一临器载荷和分屡晒界载荷豁越大，薄膜与纂扁静结合越 好。 在37。C下，袋翅Hank’s摸拟体渡迸褥电位学并路甑饿试验和动魄位试验，测 试了317L不锈镶本身及TiN薄膜样品的蒸本电化学参数，试验结果表裙：在Hank’S 模拟体液中，TiN薄膜样品的稳定自腐蚀暾位均高于317L不锈钢，照示出更好的 保护效巢：除只翅葛能离子燕轰击方法制锯豹0509．1描燕终，其余联窍搀品靛孔 饿潞穿电位均商予317L不锈锱，显示出簧好的耐孑L蚀设能。用高低能兼用方法制 备的0114-3、0116-1样品，溅论是耐全面均匀腐蚀的能力，还是耐孑L蚀的能力都 最为突出，圪317L不锈钢豹耐窳性能有缀大提高，稳定自壤蚀电谴分别挺高了1509 mV、1229 mV、884mV。 mV，孑0蚀击穿电位分别提高了849 通过对3T3成纤维细胞、Balb／C品系小鼠正常骨髓细胞在不同熬底TiN薄膜 撵熬表瑟驸羞叟妖妻勺鼹测，袭暖用IBAD方法沉获豹联N薄骥无纲魏毒性，具有 眈317L医用不锈钢更好的绷臌相容性，鼠逶当的微粗糙寝面更有利于细脆的贴附 生长。细胞在不闯工艺下沉秘的TiN薄膜寝面的贴附擞长未见明显麓异，主要依 赖予薄骥豹均匀性，当薄膜袭嚣有破碎的馕况或有较多舱徽孔出现融，细瑰生长 衾爨一定程度的影响。 研究表明，用IBAD方法在医用不锈钢317L表面沉积TiN薄膜，使其表面结 槐秘毪能发生骥鼹改交，表聪硬疫和戆露性能膏明显搬麓，在Hank’s模掇体液中 的抗腐蚀性能墩最著提高，缁胞体外培养结果表明植入材料表面的嫩物相容性商 最著改善，为篡临床应用提供具有参考价缎的实验