红外椭圆偏光谱系统的研究及其应用.pdfVIP

红外椭圆偏振光谱系统的研究及其应用 论文题目：红外椭圆偏振光谱系统的研究及其应用 堑堡系(所) 筮鍪查堑垄专业 亟i一届硕士研究生睦垂皇指导教师睦趁趋垫撞 摘要 f硕士研究生期间主要工作集中在红外椭偏学的领域．包括系统的开发和提 高数据精度的努力．其后，继续对适合此波段的金属和合金样品及窄禁带半导 体的光学性质进行研究．：本文(作为对该阶段研究工作的汇报，捌分以下几部分。 忏以介绍。，… 。 椭偏光谱学是一种利用线偏振光经样品反射后转变为椭圆偏振光这一性质 以获得样品的光学常数的光谱测量方法，本工作中，采用了两次傅立叶变换， 成功的将这一方法运用于红外光谱测量．体系统具有速度快，灵敏度高，自洽 定标与绝对测量的特点，该光谱仪做到了光机电一体化集成，通过图形化人机 交互界面方便直接的获得各种光学常数，论文第一部分中，将对该光谱仪器的 研制做系统介绍。 椭偏光谱学在可见光乃至紫外光区已经获得了成功应用，如美国wollom等 公司已有各种商业产品销售．但对于光源弱，信噪比差，功能器件效率较低的 红外光谱区，椭偏光谱学仍是一个研究课题√第二部分分析了实验中红外各种 噪声与误差来源，并讨论解决这些问题的几种尝试与方案。 『在各类金属硅化物中，铁硅化合物因其丰富的结构和相应的相变过程引起 人们的广泛关注．对其的研究在物理原理和半导体工业应用中都有重要意义． 在本文的第三部分，利用近红外和可见区的椭偏光谱设备对铁硅化合物的研究 中，发现对金属相，半导体相和过渡相都测出明显的特征介电函数谱线． 第四部分是对金属与合金，尤其是贵金属样品Au和Ag的光学性质与电子 结构的研究．附于金属，带边以下为近自由电子区，一般可用Drude模型描述。 实验中，直接拟合获取了等离子共振频率、电子有效质量及光学弛豫时间等 Drude参量．发现介电函数实部与虚部不一致的现象，进一步展开了对频率相 关的弛豫时间的研究．rr。 最后，在附录中给出详细的双重傅立叶分析红外椭偏仪的数据控制与接口 关键资料，并提供用户软件文档。{+结合研究生期间系统研制与数据测量的经验， 给出此实验系统的使用手册与注意事项。≯， 关键词：椭偏光谱学，红外光谱学，固体光学，窄禁带半导体，德鲁得模型。 分类号：0433．1，0434．3，04382，0482．3 竺竺苎璺堡堡垄壁墨垫竺竺查垒苎生旦 and ofInfrared Theresearch ellipsometry application spectroscopic Major．C．．．．o．．．n．．．．d．．．e．．．n．．．s．．．e．．．d．．．．．m．．．，．a．．．t．．t—e—r Department丑幽 Tutor Author．C．．．．h．．．．e．．．n．．．．．Y．．．．．u．．．e．．—-l—i ekn Lia嵋=Y数 Abstract onthe ofinfrared of isfocused field nleresearch year spectroscopic graduate to the ofthe