氧化锆陶瓷平面零件超精密研磨实验的研究（原版论文）.pdfVIP

第30卷第9期 机 电 工 程 Vo1．30NO．9 2013年9月 JournalofMechanical ElectricalEngineering Sep．2013 DOI：10．3969／j．issn．1001—4551．2013．09．006 氧化锆陶瓷平面零件超精密研磨实验的研究 纪宏波，彭 岩，周芬芬，郭伟刚，吕冰海 (浙江工业大学 超精密加工中心，浙江 杭州 310014) 摘要：针对氧化锆陶瓷平面零件的超光滑表面加工问题，将两种超精密研磨工艺应用到氧化锆零件加工中。研究了研磨液和磨料 粒径对零件表面粗糙度的影响，分析了不同加工阶段的材料去除机理 ，同时发现工件表面孔隙的致密性会降低氧化锆零件的可加 工性能，并采用了致密性更好的氧化锆材料在使用相同工艺情况下进行了实验对比。研究结果表明，采用金刚石油膏研磨加工得 到了表面粗糙度为 12．9nm的超光滑表面，在 “采用 A1O，研磨液，并使用 SiO 作为抛光工序”的条件下 ，得到了表面粗糙度为 6．55nm的超光滑表面，并且在选用致密性更好材料进行加工后，得到了表面粗糙度为4．72am的超光滑表面。 关键词：氧化锆陶瓷；超精密研磨 ；表面演变；致密性 中图分类号：TH161．1；TG580．6 文献标志码：A 文章编号：1001—4551(2013)09—1059—05 Experimentalstudyonultra-precision lappingforzirconiaceramicplane JIHong—bo，PEN Yan，ZHOU Fen—fen，GUOWei-gang，LV Bing—hai (Ultra—precisionMachiningResearchCenter，ZhejiangUniversityofTechnology，Hangzhou310014，China) Abstract：Aimingattheprocessingproblemsofextremelysmooth surfaceofzirconiaceramic，twoultra—precisionlappingprocesseswere叩一 pliedtotheprocessofzirconiaceramic．Theinfluenceofslurryandgritsizewasstudied，andthematerialremoval mechanism indifferent processphaseswasanalyzed，anditwasalsofoundthatthematerialscompactnesswilldeclinethemaehinabilityofzirconiaceramics，con· trastexperimentwasconductedbyusingmorecompactlyzirconiaceramiclandlappedbysameprocess．Theresultsindicatethatanextremely smooht surfacewithroughness12．9nm Raisobtainedin processlappedbydiamondpaste，and roughnessof6．55am Ra isobtained in processlappedbyA12O3andSiO2slurry，andabetterroughnessof4．72nm Raisobservedbyusingmorecompactlymateria1． Keywords：zirconiaceramic；uhra-precisionlapping；surfaceevolution；compactness 人 。。使用微细铣削工艺对氧化锆陶瓷进行了加工，其 0 引 言 表面粗糙度可以达到约0．2vm。但是采用上述磨削 氧化锆陶瓷具有很高的硬度、强度、耐高温、耐腐 的方法均无法满足纳米级的超光滑表面的要求。 蚀、耐磨损、高脆性等