《制备人工复眼结构的方法 Method to fabricate artificial compound eye》.pdfVIP

42 卷 9 期 红外与激光工程 2013 年9 月 Vol.42 No.9 Infrared and Laser Engineering Sep.2013 制备人工复眼结构的方法 1,2 2 1 1 3 史立芳 ，叶玉堂 ，邓启凌 ，董小春 ，杜春雷 (1. 中国科学院光电技术研究所，四川 成都 610209 ；2. 电子科技大学 光电信息学院，四川 成都 610041 ；3. 中国科学院重庆绿 智能技术研究院，重庆 401122) 摘 要 提出了一种人工复眼结构的制备技术。人工复眼结构是由类似于昆虫复眼的很多小眼组成。 这些小眼分布在球冠基底上以能够像昆虫复眼一样实现大视场探测。通过分析不同制备技术的 点 及适用范围，研究材料的特性以及不同材料之间的关系，并将各种制作工艺以及材料相融合，发展了 一种可用于制备曲面微阵列元件的制备方法。在该方法中，利用微加工技术在平面上制备作为子眼的 微透镜列阵结构；然后利用软光刻技术将该微透镜结构进行翻模，获得分布在柔性基底上的凹透镜列 阵结构；最后利用浇铸复制技术将柔性基底上的结构转移到球冠基底上，获得所需的人工复眼结构。 利用该方法，开展了相关实验，在曲面基底上制备出了包含 20 000 多个子眼的人工复眼结构。 ； ； ； 关键词 人工复眼 微透镜阵列 曲面成形 PDMS 中图分类号 O439 文献标志码 A 文章编号 1007-2276 (2013) 09-2462-05 Method to fabricate artificial compound eye 1,2 2 1 1 3 Shi Lifang , Ye Yutang , Deng Qiling , Dong Xiaochun , Du Chunlei (1. Institute of Optics and Electronics , Chinese Academy of Science , Chengdu 610209, China; 2. School of Optoelectronic Information, University , Electronic Science and Technology of China , Chengdu 610041, China; 3. Chongqing Institute of Green and Intelligent Technology , Chinese Academy of Science , Chongqing 401122, China) Abstract: A method used to fabricate artificial compound eye was presented in this paper. The artificial compound eye is composed of ommatidia like that of an insect 忆 s compound eye . By studying the characteristic of different fabrication tech