大口径离轴非球面制造技术—研磨、抛光技术.pdfVIP

大 口径离轴非球面制造技术——研磨、抛光技术 程灏波 (中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室 ，吉林 长春 130022) 摘要 大 口径离轴非球面的研磨、抛光技术与计算机控制水平、机械设计能力等相关领域 的 发展密切相关。美国 Itek公司的w．J．Rupp于2O世纪 7O年代初首先提 出计算机控制非球 面加工技 术思想．从而 开创 了非球 面元件 的数控制 造的新纪元。随后 以数控机床 为基 础设施 发展 了多种研 磨、抛光技术 ，大幅度提高 了非球 面加 工的确 定性 和面形收敛 高效性 。 然而 CCOS技术 的真正快速发展是在 2O世 1 引 言 纪8O年代中后期 。在此期间，在该领域处于世界 领先水平的国家为美 国、俄罗斯及法 国。美 国的 随着天文科技的发展 ，对大 口径、高精度的非 UnionCabridge等公司在 8O年代 中后期研制 了 球面反射镜 的需求不断增加 。鉴于传统经典加工 与单点金刚石车床具有同等精度 的金刚石磨床， 方法逐渐暴露出的加工效率低 、手修过程易出错 利用该磨床能够对光学玻璃 、光学 晶体等脆性材 等缺点，光学加工技术人员正面临开发高效率加 料进行磨削加工 ，面形精度可达 0．3～0．5m 工新技术的挑战。大 口径离轴非球面 的研磨、抛 (PV)；最具代表性 的产品是美 国的几家大型公司 光技术与计算机控制水平 、机械设计 能力等相关 与Rochester大学 以及 Arizona大学共 同研制成 领域的发展密切相关 。美 国 Itek公司的W．J． 功的两代 自动光学加工机床 OpticamSM 和 Op— Rupp于2O世纪 7O年代初首次提出计算机控制 tiproSX 150。 非球面加工技术——计算机控制光学表面成形技 术 (CCOS)思想 ，从而开创了非球面元件的数控制 造 的新纪元 。数控机床作为发展现代先进光学制 造技术 的基础设施 ，其控制精度及加工方式 的合 理性是实现材料有效去除的关键 。 2 非球面制造技术的发展动态 图 l OpticamSM及 OptiproSXanT设备 2O世纪 7O年代初美国 Itek公司率先提出利 用计算机控制一个小型加工工具进行光学加工的 该系列设备扩展 了光学加工 的数控概念 ，不 技术思想 ，并且在控制软件 、机床设备以及检测方 仅能够进行成型、抛光前的精研操作 ，同时还具有 法等方面做 了大量工作 。但 由于受当时的计算机 定心、倒边角及校准镜面高度的功能(见 图 1～图 3)。利用该套设备在 5min内即可加工出面形精 技术及精密测量技术发展水平 的制约 ，光学加工 度达 1m(PV)、直径为 50mm 的玻璃非球面元 的数控技术未能实现完全实用化 。 件 。 此后 Tinsley公司