能动抛光磨盘有限元法分析.pdfVIP

　第 14 卷　第 1 期 强 激 光 与 粒 子 束 . 14, . 1　 V o l N o 　2002 年 1 月 H IGH POW ER LA SER AND PA R T ICL E BEAM S Jan. , 2002　 文章编号: (2002) 能动抛光磨盘的有限元法分析 曾志革, 　邓建明, 　姜文汉 ( 中国科学院 光电技术研究所, 四川 成都 610209) 　　摘　要: 　能动磨盘在光学抛光时随磨盘移动位置和旋转角度不同而产生不同的变形以实时与大 口径被抛光工件表面实现良好的吻合。模拟了能动磨盘的工作过程, 探讨了用于光学抛光的可行性。以 加工直径 1. 5 , 12 的抛物面光学元件为例, 用有限元法对能动磨盘能够产生的变形进行了仿真计 m f 算, 结果表明能动磨盘能够以较高精度产生旋转对称或非对称的二次曲面。 　　关键词: 　能动磨盘; 　有限元法; 　光学抛光 　　中图分类号: 　 74; 　 242. 21　　　　文献标识码: 　 TH O A 　　随着空间光学、天文观测、强激光应用等技术的不断发展, 对大尺寸高陡度非球面光学元件的加工 [ 1 ] 技术提出了更高的要求 。非球面光学元件的传统加工方法是将光学元件加工为球面以后再用小尺寸 磨头进行局部修磨来产生非球面面形, 不仅效率低而且容易形成局部带差, 影响最终的光学系统质量。 小磨头计算机控制抛光技术, 在国外有成功的应用, 但在加工大尺寸高陡度的非球面元件时存在的局限 性: 加工中产生较大的高频、中频残差; 面形收敛效率相对较低。因而难于满足加工技术需要。 　　能动磨盘的计算机控制抛光技术, 是将能动光学器件技术应用于非球面光学抛光, 使磨盘具有能动 可控变形的特点。根据加工中磨盘的偏心量和旋转角度改变量, 控制磨盘表面产生不同的变形以实时形 成旋转对称或离轴的非球面轮廓[ 2～ 4 ] , 与所需求的被加工表面实现良好吻合, 加工过程中不断改善被加 工元件的面形, 从而克服以上局限性。 1　能动磨盘基本工作原理 　　能动磨盘的工作原理如图 1 所示。图 1 (a) 中, 加工过程中被加工件与能动抛光磨盘分别以不同角 速度旋转, 同时能动磨盘从被加工件中心连续地逐渐向边缘移动。能动地控制均布在磨盘背面的多组弯 矩驱动器施加不同的弯矩于磨盘上 图 1 (b ) , 使磨盘产生与加工件相同表面形状, 以保证在任一瞬 间、任一位置同被加工非球面吻合。能动磨盘表面受力变形的规律可由图 1 (c) 所示的位移传感器阵列 来标定。 . 1　 F ig W o rk ing p rincip le and fram e of active lap 图 1　能动磨盘基本工作原理和结构示意图 收稿日期: 　　修订日期: ( ) 基金项目: 国家863 激光技术领域资助课题 8634101 ( ) ( ) 作者简介: 曾志革 1967 , 男, 博士, 副研究员, 主要从