传感器与检测技术课件第一章 （参考）.ppt

* * 第四节 传感器的标定与校准 一、传感器的动态标定 动态标定的目的是检验测试传感器的动态性能指标。通过 确定其线性工作范围（用同一频率输入不同幅值的正弦信号， 测量传感器的输出）、频率响应函数、频率特性曲线、阶跃响 应曲线，来确定传感器的频率响应范围、幅值误差和相位误差、 时间常数、阻尼比、固有频率等。 传感器的种类繁多，动态标定方法各异，常用的标准动态激励设备有激振器、激波管、周期与非周期压力发生器等。其中激振器可用于位移、速度、加速度、力、压力传感器的动态标定。例如测振传感器的动态标定常用电磁振动台产生简谐振动作为传感器的输入量。 第四节 传感器的标定与校准 一、绝对标定法 图1-9 振动的振幅由读数显微镜测得 振动频率由频率计指示。 若测得传感器的输出电量即可通过计算得到位移传感器、速度传感器、加速度传感器的灵敏度。 第四节 传感器的标定与校准 二、比较标定法 图1-10 将被标传感器与标准测振传感器“背靠背”安装在振动台上。 标定时，分别测出被标传感器与标准测振传感器的输出电压 值Ua和U，若标准测振传感器的加速度灵敏度为 Sa0，则被标传感器加速度灵敏度Sa为 Sa=Sa0·U/Ua 频率响应的标定，在振幅恒定条件下，改变振动台的振 动频率，测出传感器输出电压与振动频率的关系，即幅频响 应。比较被标传感器与标准传感器输出信号间的相位差，可 得传感器的相频特性。 第五节 传感器与检测技术的发展方向 传感器现状 目前我国已有1700多家从事传感器的生产和研发的企业，其中从事微系统研制、生产的有50多家，早在2009年底，敏感元件和传感器年总产量已达到20亿只，传感器产品达到10大类、42小类、6000多个品种。 同时，传感器越来越多地被应用到社会发展及人类生活的各个领域，如工业自动化、农业现代化、航天技术、军事工程、机器人技术、资源开发、海洋探测、环境监测、安全保卫、医疗诊断、交通运输、家用电器等。　 2010年，流量传感器、压力传感器、温度传感器的市场规模最大，分别占到整个传感器市场的21%、19%和14%;压力传感器、温度传感器、流量传感器、水平传感器已表现出成熟市场的特征;未来传感器市场的主要增长将来自于无线传感器、微系统传感器、生物传感器等新兴传感器。　　　　 第五节 传感器与检测技术的发展方向 传感器现状 传感器已进入人们的日常工作和家庭生活中，并已在国民经济各部门以及国防建设中得到广泛应用，为中国现代化建设作出了应有的贡献。近年来，随着中国制造业的逐渐强大以及汽车行业的迅速崛起，传感器在这两个行业中的市场规模已经超过100亿元。国内传感器市场正在以持续稳定的增长之势向前发展。 传感器现状 第五节 传感器与检测技术的发展方向 第五节 传感器与检测技术的发展方向 发展方向 1.开发新型传感器 （1）利用新材料制作传感器 敏感材料是传感器技术的基础，随着材料科学的进步 新功能材料的开发，除下了 许多新型传感器。 半导体材料研究的进展，促进了半导体传感器的迅速发展 压电半导体材料为压电传感器集成化提供了方便； 高分子压电薄膜的制作成功，将使得机器人的触觉系统更接近人的感觉器官------皮肤。 第五节 传感器与检测技术的发展方向 发展方向 1.开发新型传感器 （2）利用新加工技术制作传感器 半导体技术中的加工方法，如氧化、光刻、扩散、沉积平面电子工艺、各向异性腐蚀等工艺都可用于传感器制造。 例如：利用半导体技术制造出压阻式传感器； 利用薄膜工艺制造出快速响应的气敏、湿敏传感器 第五节 传感器与检测技术的发展方向 发展方向 1.开发新型传感器 （3）采用新原理制作传感器 随着光导纤维的出现，利用其传光性的传感性，利用光的 各种非接触式测量方法的光纤传感器成了近年来比较突出 的一项技术，对于光测系统的小型化和高可靠性极为有效。 第五节 传感器与检测技术的发展方向 发展方向 2.传感器检测技术的智能化 传感器技术与微处理器技术结合可以制成智能仪表，这种 仪表把检测技术自动化推进到一个新水平。 它可以进行： 自动调零和自动校准 自动量程转换 自动选择功能 自动数据处理和误差修正 自动定时测量 自动故障诊断 第五节 传感器与检测技术的发展方向 发展方向 3.复合传感器 日本丰田研究所开发出同时检测Na+、K+、H+等多离子 传感器。这种传感器的芯片尺寸为2.5×0.5mm2，仅用一滴 血液即可同时快速检测出其中Na+、K+、H+的浓度，适用于 医院临床，使用非常方便。催化金属栅与MOSFET相结合的 气体传感器已广泛用于检测氧、氨、乙醇、乙烯和一氧化 碳等。 第