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第 28 卷第3 魏 2∞8 年 9 月 振动、测试与诊断 Vol. 28 No. 3 SeP. 2008 Journal of Vibration ,Measurement . Díagnosís 基于LDV 扫描测试劈刀稳态振动规律研究 程宝韩雷 (中南大学机电工程学院 长沙，410083) 摘要 利用激光多警勒~tf?仪对受正弦激励、超声加载作用下振动的劈刀进行连续妇揣测试.得到其怠态振动形 态.介绍了一种Hilbεrt 变换的模态分析方法，当仅改变劈刀与变俑杆连续的松紧度时.由试验现象和模拟振动结果 发现 z当连接松紧度发生变化时.劈刀的稳态振动表现也不确定位;同一松紧度下振动中出现单节点.但不同松紧 lt下节点出现位置不同 s劈刀末端的速度振铺并不是规望的那样是a:大.该结论对优化设计组声振动系统、提高忽 声能量的利用.有-定的意义. 关键滔超声稳态拨动松紧度激光多普勒测报仪 中图分2挂号 TH825 TB559 TN249 事 l 言 自 1960 年以来，激光多普勒技术由于在测量中 具有高的空间和时间分辨率，不接触测锺物体，不扰 动测量对象，能测量原有测振技术难以测量的对象 而越来越引人注吕.德国Polytec 公司曾采用激光多 普勒测振仪(Laser Doppler Vibrometer ，简称LDV) 对汽车的零部件及整车进行模态分析，改善汽车佳 能(1 );文献[2-4]等曾利用激光多普勒测振仪，对振 动结构的模态振型作过测试分析，提供了一种获取 模态振型的方法.本文利用LDV 的模态测试分析功 能，对超声键合装置中劈刀的稳态振动进行扫描测 试，对其振动形态作进一步试验研究，这将为优化设 计怨声键合系统提供参考. 1 激光多普勒测振基本原理 激光多普勒测振f义的光学系统主要由激光源、 光学分束器、光学发送系统和光电接受系统几大部 件组成.本文所用测锻仪为后向敌射接收、差动型扫 描式LDV. 其测试光路如i驾 1 所示. 激光器发出的激光束经半透半反镜分成两束， 一束透射为光束 1 ，一束经反射镜反射成与光荣 1 平 行且强度相等的光束2，两平行光束经远镜会聚于被 测物体表面的A点.根据多普勒频移原理两束光在 A 点发生颁移，它们的频率分别为刀 ，f~ 0 这两种具 有不同频移的散射光束 l ? 2在光电探测器 APD 的 光敏面上相干.得到差动多普勒信号频率(~J为 分*镜1 因 l 激光多普勒测试系统光路部 h 草 |A-Al=÷vys咛 ω 其中 :8 为两人射光束央角州为传播媒介的反射指 数(若为空气严=l) ;VV， 分别为待测物体在A 点 处x.y 方向上速度分量认为激光彼伏. 从式(1)可看出 ，无论探测器放在何处，只要两 束人射光线的夹角不变，得到的多普勒信号就是一 样的.本文所用的试验测试系统如图 2 所示. 因2 PSV-400-M2 扫描式多普勒测试系统 2 试验过程 本文以微讯 U3000 型粗铝丝键合机为试验平 回家自然科学基金重大资助项目 (编号， ，I!l家重点基础研究发展计划资助项目〈编号，2003CB716202) ? 收稿日期:2007-07- 28，修改稿收到日朔 ， 2007-10-17. 第 3 期 程 ~等 z 基于LDV 扫描测试劈刃稳态振动规律研究 239 台，采用正弦信号驱动换能系统，改变劈刀与变幅杆 图 6 所示试验布置了 9 行 3 列共 27 个扫描点. 连续的松紧度，使用 LDV 对劈刀的稳态振动进行扫 描测试，劈刀与变领杆采用图 3 所示连接. 其中，劈 刀安装长度 1 :是指劈刀处于变幅杆下面部分的袄 度;连接松紧度是指劈刀与变幅杆联结螺栓的拧紧 程度，通过对施加在拧紧工具上的法码重量C进行 调节;数字1-4表示劈刀与变幅抨连接越来越紧， 对应砖码重1tG 分别为600 g , 800 g , 900 g ,1 000 g. M四 溢搞 M m 因 3 劈刀与变幅抒连E墨、狞It示意图 D,= 1.5 mm.D. =8. 2 mm 2.1 劈刀稳态振动的理论分析 将组声振动系统中的劈刀视为伯努力-欧拉梁， 仅考虑梁的横向弯曲振动，得到劈刀的振动为(s-7】 é1 r r.o u ，é1z(y ，t)l 缚z(削，、 aytL El(y)一示一J+m(y) V -~ ..， =f(y ,t) (2) 其中 :E 为弹性模量 ;1{y)为截丽惯性矩;m(y)为劈 刀材料的线密度〈劈刀为均质、等截丽，故EI.和m 为 常量) ;/(y ，。为单位劈刀长度上分布的载荷. 设劈 刀振动水平位置为y 辙，振动横向位移 z(y，。以垂 直向上为正. 令f(y，t)=O ，得劈刀固有振动 z(y ,t) = 伊(y)(Acos