硅晶体线切割加工过程中切割线振动的研究.pdfVIP

工 磨液注射到加工区域，实现材料的去除加工 (如图 1 p +2pv +(pv=-P) 川 ) (1) (b)所示)。与传统的内圆锯切相比，游离磨粒线切割具 由于加工前切割线处于静止状态，其振动幅度和速度 有锯痕损失小、硅晶片损伤层小、加工效率高等优点 ， 都为0，所以切割线振动的起始条件为： 见表1。 ( ，0)：0 表 1 游离线切割与内圆锯切加工效能对比 tit (2) l，(X，0)=0 同时，由于任何情况下支点都不振动，其振动幅度为 0，所以切割线振动的边界条件为： Y (0．t)=0 (3) l，(L，t)=0 通过量纲齐次法对方程 (1)进行无量纲化处理，这 样更方便处理各个物理量之间的关系，来分析弦线面内横 向振动动力学特性，使f=儿／P， = 、／ ，式 (1) 变为 ： 3切割线振动研究 +2va 一(1-V-2 a ) =，( ) (4) 国内外对切割线振动的研究基本上是把切割线振动看 ￡ xat a 、 作是存在着张紧力的轴向运动的弦的横向振动，在此基础 式 (4)即为切割线振动的无量纲化的动力学方程。 上建立切割线在加工过程中振动的数学模型，并对此模型 通过上述无量纲化处理后的动力学方程中各项式子关于物 加以分析和研究 l6]。国内葛培琪等主要研究固着磨粒线切 理量的幂次均一致，这样可以对动力学方程进行比较和相 割切割线的振动，在给出了线锯切割的运动方程的基础 加减，进行相关的后续处理。 上，考虑到切削力的随机性，由模态分析法导出了传递函 Wicket和Mote应用模态分析方法，首先求出切割线 数，同时分析了切割线速度和张紧力对振动的影响 ]。国 的动力学方程在满足系统的初始条件和边界条件的情况下 外I．Kao等研究了游离磨粒线切割切割线的振动，在给出 的固有模态函数。然后在切割线的任一位置作用一单位脉 了线锯切割的运动方程的基础上，首先考虑了单个磨粒激 冲力，求出系统的脉冲响应函数。从而建立起工艺参数与 励切割线振动的响应，继而研究了多个磨粒激励下切割线 切割线振动之间关系的数学模型。 振动的响应 ]。虽然固着磨粒线切割和游离磨粒线切割在 由文献 [11