薄膜技术中文版02薄膜制备的真空技术基础.pdfVIP

薄膜技术—2 真空技术基础 主 要 内 容 1. 真空概念 2. 真空中气体的表征 3. 真空中气流与流导 4. 真空泵原理及种类 5. 真空测量原理及种类 什么是真空? 一、什么是真空? • 在真空科学中，真空的含义是指在给定的 空间内低于一个大气压力的气体状态。 真空的特点 （1 ）真空状态下的气体压力低于一个大气压，因此，处于 地球表面上的各种真空容器中，必将受到大气压力的作用。 真空的特点 （2）真空状态下由于气体稀薄，因此，分子之间、分子与 其他质点之间以及分子与各种表面之间相互碰撞次数相对 减少。 哪里有或用到真空？ 1.2 真空气压单位 • 国际单位制：帕（Pa） 一个大气压=101.325 kPa • 真空技术常用单位：托（Torr ） 1托等于1毫米高的汞柱所产生的压强，即 1Torr＝133.3224Pa 1.3 真空的划分 低真空 105 ~ 102 Pa (低压CVD) 2 -1 中真空 10 ~ 10 Pa (低压CVD、磁控溅射) 高真空 10-1 ~ 10-5 Pa (真空蒸发) 超高真空 10-5 ~ 10-9 Pa (真空蒸发、表面分析技术) 1.3 真空的划分 低压化学气相沉 电子显微分析 真空蒸镀 溅射技术 积 SEM,TEM 低真空 2 10 Pa 10Pa 100Pa 中真空 2 -1 10 ~10 Pa 10Pa 10-3Pa 高真空 -1 -5 10 ~10 Pa 10-2Pa 超高真空 -5 10 Pa 主 要 内 容 1. 真空概念 2. 真空中气体的表征 3. 真空中气流与流导 4. 真空泵原理及种类 5. 真空测量原理及种类 二、气 体 的 表 征 2.1 气体分子运动的基本概念 理想气体 –气体分子看作相互独立的硬球 气体分子除相互碰撞瞬间外，不存在相互作用 –气体硬球的半径远小于球间距 一般温度和压力条件下，所有气体看作理想气体 2.1 气体分子运动的基本概念 气体分子运动理论 –分子处在无规则的热运动 温度决定平均运动速度 –气体分子之间、气体分子与容器之间不断碰撞 气体分子的速度服从Maxwell-Boltzmann统计分布 2.2 气体的运动速度与分布 Maxwell-Boltzmann分布 2 3 Mv 4 M 2 2 2RT f (v) ( ) v e