薄膜技术中文版11薄膜应力与膜基结合力.pdfVIP

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2017-07-08 发布于浙江
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薄膜技术中文版11薄膜应力与膜基结合力.pdf

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薄膜技术-11 薄膜应力与膜基结合力主要内容  薄膜应力  膜基结合力薄膜应力:薄膜任意断面上，断面一侧作用于另一侧的单位面积的力。一般指垂直于薄膜表面断面上的应力平均值。应力的测量 Stoney 方程 2 E d s s  f 6(1 )rd s f r为薄膜与衬底弯曲后的曲率半径 E 衬底弹性模量 s d 衬底厚度 s d 薄膜厚度 f v 衬底泊松比 s 薄膜应力的分类拉应力（+ ）压应力（- ）热应力生长应力薄膜应力的分类  拉应力（+ ） film 薄膜断裂  压应力（- ） film 薄膜起皱薄膜应力的分类拉应力作用压应力作用拉应力或压应力造成薄膜从衬底表面脱落情况薄膜应力的分类拉应力（+ ）压应力（- ）热应力生长应力薄膜应力的分类热应力:变温情况下，由于受约束的薄膜热胀冷缩引起的薄膜应力薄膜热应力计算 TE f  f 1 f E