均值量化与中值量化光栅性能的理论研究.pdfVIP

第37卷第4期 光 子 学 报 Vo1．37 No．4 2008年4月 AC1、A PHOT()NICA SINICA April 2008 均值量化与中值量化光栅性能的理论研究* 陈炎明，何玉明 ，胡而已 (华e}|科技大学 力学系，武汉 430074) 摘 要：对相移技术的投影栅相位法的传统中值量化方法提出改进，设计和制作出小误差、低高阶谐 波的均值量化光栅．理论讨论了相位值、离散等级和量化等级等因素对两种量化光栅性能的影响；在 标准偏差和频谱分布两方面比较后，得出均值量化光栅性能优于中值量化光栅且更接近正弦光栅的 结论． 关键词：均值量化；中值量化；投影光栅；三维形貌测量 中图分类号：0439，P234．1 文献标识码：A 文章编号：1004—4213(2008)04—0804—5 0 引言 的性能优于中值量化光栅、且其更接近正弦光栅的结 论． 三维轮廓和表面形貌测量在精密检测、质量控 制、逆向工程、计算机视觉、CAD／CAE等领域都有迫 1、原理 切需求和广泛应用，投影栅相位法具备全场、快速、非 1．1 相移法投影栅相位测量 接触等特点成为目前研究比较活跃的领域之一．常用 的求解相位方法[ 是相移技术，通过引入已知相移 平行正弦光强分布光栅被投影到物体表面，光栅 场受到高度的调制因而其光强可写为 量并比较投影光栅场中同一点在不同相移量下的光 I(x， )一a(x， )-+-b(x， )COS L ( ， )-+- 强值变化来求得相位值． 2丌 ] (1) 显然，相移法投影栅相位测量的至关重要条件是 式中a(x， )为背景光强，6(n )为调制度，-厂为光 制作正弦光强分布的光栅．目前投影光栅图案形成的 栅频率， (上， )为被高度信息调制的相位．获取相位 典型方法有两种，一种为采用激光光源的干涉型光 值的方法是通过K次相移2n／K，式(1)则为 栅，另一种为白光光源的投影型光栅；后者由于其光 J ( ， )一a(x， )-+-b(x，y)cos[ + 路简单、操作快捷、设备要求低等特点被广泛应用于 2in／K-+-2n ] (2) 实际测量中．投影型光栅原理是由计算机生成光栅条 式中J (上， )， 一0，】，2… ．，K一1，为第i步相移 纹，通过投影系统将其直接投射到待测物体表面．相 所对应的光强．这样可通过式(2)求出相位值 。。 移技术的投影栅相位法已得到了广泛的运用和长足 的发展l3 “ 引，但在非常重要的投影栅设计与制作上 ，， 、、 f i=0( 『 一 ”“ n( K)1 J 并没有突破，仅从朗奇光栅到现在大多数采用的中值 一 协n 11 (一x,y一)cos一 f 量化光栅．