碳纳米管压阻微悬臂梁红外热探测器.pdfVIP

维普资讯 第 16卷 第 4期 光学 精密工程 Vo1．16 NO．4 2008年 4月 OpticsandPrecisionEngineering Apr．2008 文章编号 1004—924X(2008)04—0682—07 碳纳米管压阻微悬臂梁红外热探测器 梁晋涛 ，刘诗斌 ，刘君华 ，朱长纯 (1．西北工业大学 电子信息学院，陕西 西安710072；2．西安交通大学 电气学院，陕西西安710049) 摘要：研究了一种压阻复合层微机械悬臂梁红外探测器，建立了其热挠曲理论模型。为提高探测器的红外吸收特性，应 用 了一种新型红外吸收层材料一碳纳米管，利用 Ic工艺和微机械加工技术设计制作了一种硅 ／铝 ／碳纳米管三层微机械 悬臂梁红外探测器 。该探测器基于硅和铝两种材料热膨胀系数 的差异，存在双物质效应 ，不 同温度下梁 的挠度不同，其 形变可通过梁根部的压敏电桥检测 。实验探索出了在微机械悬臂梁上涂覆碳纳米管吸热层 的工艺方法 。实验研究了具 有碳纳米管薄膜吸热层的三层微机械悬臂梁红外热探测器对红外辐射 的响应规律 ，结果表明，涂覆碳纳米管吸热层使响 应灵敏度提高近 1倍 。此种探测器样管的制作研究为开发新型的红外热探测器提供了新的可能。 关 键 词 ：红外探测器；微悬臂梁；微机械技术；碳纳米管 中图分类号：TN215 文献标识码 ：A M icro-cantileverthermalinfrareddetectorwithcarbonnanotubes LIANG Jin—tao，LIU Shi—bin ，LIU Jun—hua。，ZHU Chang～chun。 (1．CollegeofElectronicsandInf!ormation，NorthwesternPolytechnicalUniversity，Xi’an710072，China； 2．SchoolofElectricalEngineering，Xi’anJiaotongUniversity，Xi’an710049，China) Abstract：Thethermaldeflection theoreticalmodelofapiezoresistive compositemicro—cantileverfor thermalinfrared detectorwasstudied．A new infraredabsorbing layermaterial— Carbon Nanotube (CNT)wasappliedtoenhanceinfraredradiationabsorbingcharacteristic．A noveltri—layerSi—based micro—cantileverthermalinfrareddetectorwithCNT film wasfabricatedusingstandardintegratedcir— cultandmicro—mechanicalmachiningtechnology．Thebendingofmicro—cantileverwaspiezoresistively detected．foritresponsedtotheincidentIR thermalradiationfrom bi—materialeffectcausedbydiffer— entthermaIexpasioncoeffientsofAlandSi．TheCNT wascoatedonthemicro—cantileverintheex— periment，theinput—outputcharacteristicsofpiezoresistivemicro—cantileverIR thermaldetectorwith CNT film werestudied．TheexperimentalresultsindicatethattheIR detectortakingcarbonnano— tubesastheabsorbinglayerof