以自制光纤型频域光学同调断层扫描系统研究触控面.PDFVIP

以自製光纖型頻域光學同調斷層掃描系統研究觸控面板結構 楊柏軒 邵偉卿 盧聖華 逢甲大學光電學系 逢甲大學光電學系 逢甲大學光電學系 whrlsjd@.tw adada945@ shlu@.tw 摘要 光學同調斷層掃描術(OCT)具有非侵入、高靈敏度與高解析度的截面成像能力，與生醫方面應用相較， 工業方面的應用取於正在起步階段。本研究研製一套光纖型頻域 OCT 系統，光纖干涉儀架構可使系 統輕便及小型化 ，易實現工業的線上檢測。此系統以光柵光譜儀紀錄參考鏡與待測樣本反射或散射的 干涉光波頻譜，並利用快速傅立葉轉換推得樣本深度資訊，搭配掃描振鏡改變光束位置，最後可得到 樣本的二維內部結構影像。本研究將此系統成功用於分析觸控面板的層狀結構，及檢測模組間的光學 膠厚度 。 關鍵字：頻域光學同調斷層掃描術、光纖干涉儀、快速傅立葉轉換、工業檢測 壹、 前言 觸控面板在組裝時，會先把觸控與背光模組各自先製作完成，然後用光學膠把這兩個模組黏貼在一 起。現今有些觸控面板產品，傳出觸控螢幕有不明的黃班 ，其原因可能是光學膠在烘烤黏合兩個模組 時溫度控制不當或混合比例不良，導致模組間的貼合不穩 ，因此光學膠的配置是一個很重要的參數。 非接觸、非破壞及線上即時量測方式是目前工業產品檢測的主流，例如使用視覺的自動光學檢測 (Automated Optical Inspection, AOI)[1] ，可對印刷電路板缺陷進行檢測，但此方法只能檢查產品表面是 否有瑕疵或異物。本研究使用光纖型頻域 OCT[2][3](Spectral-domain optical coherence tomography, SD-OCT)來檢測光學膠厚度，OCT 除了具備目前工業檢測所需的條件，還具有微米等級的橫向與軸向 解析度 ，而光纖干涉儀使本架構變得輕巧及小型化，適合用在工業的線上檢測。 貳、研究方法 本研究架構如圖 1 所示，光源為超輻射發光二極體(Superluminescent diode, SLD) ，中心波長855  nm ，半高寬FWHM = 35 nm 。為了使光源穩定，使用光隔離器(Isolator)防止反射光反饋至SLD ，因此 波段為近紅外光，為了方便準直光路，外加紅光二極體雷射(Diode laser)當作輔助光源。接著把兩道光 送入coupler 1 ，coupler 1 會把SLD 90%與Diode laser 10%的光傳到coupler 2 ，接著coupler 2 會以50 ： 50 分成兩道光，其中一道光經準直器(Collimator)打到參考臂，而另一道光打到掃描振鏡，因此掃描振 鏡改變光束位置，掃描樣本二維內部結構(x-z 面) ，物光與參考光經反射或散射回到coupler 2 干涉， 並由自製光譜儀(Spectrometer)接收干涉訊號。 SLD Isolator Coupler 1 Coupler 2 Collimator Reference Mirror Diode laser Spectrometer X scanner Line CCD PC f4 f3 f2 x f1 Sample Grating z