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amp;quot;楔形amp;quot;TEM样品的机械研磨制备技术.pdf
櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶
doi:
103969/jissn1003353x201003013
楔形 样品的机械研磨制备技术
“ ”TEM
, , , , ,
张启华赵燕丽高强李明牛崇实简维廷
(中芯国际集成电路制造有限公司,上海 )
201203
摘要:介绍了一种用机械研磨法制备集成电路 楔形样品的技术,讨论了该制样技术所
TEM
需注意的关键点,并给出了判断样品薄区是否满足 分析要求的两种方法。楔形样品减薄技
TEM
术兼具制样速度快和样品质量好的优点。该技术既可用于制备非定点 样品,也可用于制备
TEM
定点的 样品。给出了用该技术制备的定点失效的 器件 照片。熟练的技术人员可以
TEM MOS TEM
用此方法在半小时内完成一个样品的制备。
关键词:机械研磨;透射电子显微镜;样品制备;“楔形”机械研磨
中图分类号: 文献标识码 文章编号: : ( )
TN407 A 1003353X 2010
WedgeSpecimenPreparationTechniqueforTEMAnalysis
, , , , ,
ZhangQihua ZhaoYanli GaoQiang LiMing NiouChorngShyr ChienWeitingKary
( , , )
SMIC Shanghai 201203 China
:
Abstract WedgespecimenpreparationtechniqueforTEManalysiswasintroduced. Keypointsabout
thistechniquesuchaspolishangleandsoonwerediscussed. Twomethodsweregiventojudgeifthethinarea
wasacceptableforTEManalysis. Wedgepolishmaylocatetheinterestedareaasthethinnestarea,andit
alsohastheadvantagesofhighefficiencyandhighqualityduringTEMspecimenpreparation. Wedgepolish
techniquecanbeappliedtothepreparationofbothnonspecificsiteTEMsampleandthespecificsiteTEM
sample. TEMimagearegiventoshowthesuccessofthistechniqueonaspecificsitefailedMOSdevice. A
skilledtechniciancanfinishtheTEMspecimenpreparationwithinhalfanhourusingthistechnique.
Keywords: ; ; ;
polish TEM specimenpreparationtechnique
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