薄膜光学模拟软体实习 实习3 叁层抗反射膜 实习3 叁层抗反射膜 实验 .doc

實習3 叁層抗反射膜 實驗目的 配合ThinFilmView模擬軟體，分析討論TiO2/MgF2/TiO2或MgF2/TiO2/MgF2叁層抗反射膜的特性。 實習軟體、儀器 ThinFilmView模擬軟體 實驗原理 ? 抗反射膜可以分成兩類全簡單設計 非複雜設計 ??? 其中所謂簡單與複雜，係指監控難易度而言;通常，第1類設計可視為起始設計，而第2類則為進一步的修正設計，當這2類都無法符合光譜要求時，更多層的設計是免不了的，因此，以雙層抗反射膜設計為基礎，可以衍生層抗反射膜的設計，諸如 雙層抗反射膜，，，nL=1.38，nH=1.7，加鍍一層高折射率無效層nH=2.15 或 其導納軌跡圖與光譜特性，如下圖所示 ????????????? ? ??????? 與其他三種相關抗反射膜做比較單層ARC 雙層QQ ARC 雙層QH ARC??? (光譜效果比第1，2種設計好) 結果如下圖所示 與其他抗反射膜比較，發現層QHQ抗反射膜在設計波長附近的反射率R改善很多，但是，在可見光區的兩端，尤其是短波長區的反射率反而被拉高???????為了平衡可見光區兩端的反射率，設計波長移往後，結果就比雙層QH抗反射膜效果好，如下圖所示 斜向入射 ??????? QHQ的設計中有，因此，在設計波長處的反射率和雙層QQ抗反射膜相同，不論無效層的折射率為何，其餘光譜特性受無效層影響甚巨，如圖所示 取n2=2.15為例，說明層QHQ抗反射膜的斜向入射效果 : S偏振光????????????????????????????????????????????????????????????????????????? P偏振光 ??????????? ???????????? 由上圖可知，兩者在入射角小於20°的範圍內，光譜效果良好，超過20°以後效果逐漸變差??????? 由雙層QH抗反射膜設計出發，將半波長膜層拆成波長膜層，再分別改變此2層波長膜層的折射率，以方便尋找出最佳抗反射效果的設計??????? 舉雙層抗反射膜，，nL=1.38，nH=1.9為例，依上述概念所衍生的層QQQ抗反射膜有下列兩種可能 ??????????????? (n2，n3 可調變) 對第1種設計而言，若，有改善設計波長附近反射率的效果，但也帶來可見光區兩極端抗反射效果變差的缺點 ; 反之，若，則情形恰好相反n2 折射率所造成的結果，就好像是原始設計在設計波長處將整條反射率光譜曲線下壓或上拉的效果，這種現象在前述的抗反射膜討論中已經見過???????????????????????? ?????????????????????????????????????????????? n2nH ?????? ????????????????? 第2種設計對不同折射率n3 所呈現的反應，恰與第1種設計相反即時是增反射效果，反之，時則為抗反射效果??????? ??????????????? 綜合上述討論，重新設計具備抗反射效果的膜層，使其擁有更佳的光譜特性，設計有 2 :???? ??? λ0=0.52μm，其導納軌跡圖與光譜特性，如下圖所示 實驗步驟 1. 打開ThinFilmView模擬軟體，選按功能表列之 膜名輸入：叁層抗反射膜，層數設定為3，按OK 2. 調整叁層抗反射膜的第1層、；設定波長曲線圖的y軸最 大值格式，選用自動 顯見此類λ/4-λ/4-λ/4膜層設計安排是屬於增反射的效果。 3. 根據導納軌跡法的概念，可知高折射率的第1層、第3層的膜厚必須減少，低折射率的 第2層的膜厚則必須增加；使用滑動尺微調，觀察相對應的反射率變化 4. 重複步驟3，波長範圍400~700nm，找出最佳的叁層抗反射設計 由結果可知，可見光範圍最佳抗反射設計是讓第3層鍍膜的膜厚趨近於0，換言之，參 層抗反射膜將簡併為雙層抗反射膜。 5. 顯示蒸鍍控制曲線圖 6. 顯示顏色計算圖 7. 改用MgF2/TiO2/MgF2參層抗反射膜的設計，重複以上步驟 實作結果 1. 2. 3. 4. 材料對調 自動調整 問題與討論 1. 使用空氣/TiO2/MgF2/TiO2/基板的設計，可否有最佳參層抗反射效果？ 2. 使用空氣/ MgF2/TiO2/MgF2/基板的設計，可否有最佳叁層抗反射效果？ 3. 模擬說明叁層抗反射設計，可否有W型抗反射光譜效果？ 4. 模擬說明叁層抗反射設計，可否安排無效層？ 參考資料 1. 薄膜光學與鍍膜技術，李正中，藝軒圖書 2. 薄膜光學，葉倍宏，崑山科技大學光電系 薄膜光學模擬軟體實習