尺寸分布优化的硅基纳米材料的制备及其光致发光特性研究 Preparation and Photoluminescence Characteristics of Size Distribution Optimized Silicon-based Nanometer Material.pdfVIP
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半导体光电 年 月第 卷第 期 杜会静# 尺寸分布优化的硅基纳米材料的制备及其光致发光特性研究
Z006 Z Z7 1
材料、结构及工艺
尺寸分布优化的硅基纳米材料的制备
及其光致发光特性研究
杜会静
燕山大学 理学院#河北 秦皇岛 066004$
摘 要! 纳米材料尺度的均匀性分布是保证纳米硅材料高效发光的基本要求!而纳米材料尺
度分布的不均匀性却是纳米硅材料制备过程中的常见问题在激光烧蚀沉积纳米硅材料中采用挡
板技术和背散射技术提高了材料的尺度分布的均匀性!减少了材料表面的大颗粒!有效改善了材料
的发光特性!使材料的发光强度提高!且发光峰的半峰宽变窄
关键词! 激光烧蚀沉积 硅基纳米材料 挡板技术 背散射技术
中图分类号! 文献标识码! 文章编号!
TN304. 1Z A 1001-5868 Z006 01-0037-05
Pre aration and PhotoluminescenceCharacteristics
p
of Size Distribution o timizedSilicon-based Nanometer Material
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DU ~ui- in
g
Colle e of Science Yanshan universit inhuan dao066004 CHN
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Abstract The unifOrm size distributiOn Of nanOmeter materials is the ke tO achieve the
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hi h efficienc luminescence Of the silicOn-based nanOmeter materials but the nOn-unifOrm
g y
distributiOn Of nanOmeter materials is the cOmmOn rOblem in the re aratiOn Of silicOn-based
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