第八章电子光学基金会.ppt

第二篇 材料电子显微分析第八章 电 子 光 学 基 础 ;第一节电子波与电磁透镜;眼晴的局限性： 准确性、灵敏性、适应性和精密的分辨能力。 人眼观察物体的粒度极限为0.1mm！;光学显微镜 可以看到： 细菌、细胞那样小的物体。但光学显微镜超过一定放大率以后就失去了作用，最好的光学显微镜的放大极限是： 2000倍;一、 光学显微镜的分辨率极限 ;如： ① 高碳钢的隐晶马氏体精细组织； HD（5Cr8WMo2VSi）刀片用钢淬火后组织，;② 钢淬火后回火过程中的细小碳化物析出； 6CrW2Si钢淬火＋低温回火后组织（回火马氏体＋碳化物）;③ Al-4％Cu合金的时效析出情况： 过饱和固溶体→ G·P（I）区（Cu富集区，约0.2～0.6nm）→ G·P（II）区形成θ″相（Cu进一步偏聚并有序化，厚度约10nm）→过渡相θ′（Cu:Al=1:2）→稳定θ相 （CuAl2）+ α固溶体 。;光镜分辩率为何不能再进一步提高呢？ 光镜：用可见光束作照明源，可见波长范围：390～760nm，所产生的衍射现象，使得其分辩本领不能大于可见光的半波长λ/2 约200nm（0.2μ m）的极限。 光的衍射现象又是如何限制光镜的分辩率呢？;2. 埃利（Airy）斑： 即使一个理想的点光源，经透镜成像，因衍射效应，而在像平面上形成一个有一定尺寸的中央亮斑及其周围明暗相间的圆环所组成的衍射花样－－埃利(Airy)斑。;3. 埃利斑大小：因光强度84％集中在中央亮斑，常以埃利斑的第一暗环的半径来衡量埃利斑的大小。 由衍射理论推导得，埃利斑半径 R0：;4. 光学显微镜的分辨率 物体可视为由许多物点组成，每物点为一个“点光源”，经透镜后，在像平面上形成各自埃利斑像。;a.当两物点相距较大时，明显可辨;c. 瑞利（Rayleigh）分辩两Airy斑像的判据： 当两 Airy 斑中心间距等于第一暗环半径R0，两物点刚能被分辨。此时，两Airy 斑叠加中央峰间叠加强度比中央峰最大强度低19％时，;由此可得，透镜的分辩本领：;上式说明： 透镜分辨率：即能分辩两点间的最小距离，主要取决于照明光波长，半波长为光学玻璃透镜分辩本领的理论极限。 可见光：波长：390～760nm，若取最小值400nm，则光镜极限分辨本领为200n（0.2μm）。 紫外线：波长更短（13～ 390 nm），但大多物质均强烈吸收紫外线，可供照明只限于200～ 250 nm，则其分辨率可达100nm（0.1μm）。 X射线：波长很短（0.05～10nm），但无法使其折射成像，故须寻找一种新光源。;二、电子波的波长（1） ;法国著名理论物理学家－德布罗意;1926年， Busch指出轴对称非均匀磁场能使电子波聚焦，在此基础上，1933年Ruska等设计并制造了第一台透射电子显微镜（分辨率达0.1nm,显纳镜）。从而，从本质上提高了放大倍数。;二、电子波的波长（2）;二、电子波的波长（3）;二、电子波的波长（4）;三、电磁透镜（1） ;三、电磁透镜（2） ;三、电磁透镜（3）;三、电磁透镜（4）;三、电磁透镜（5）;三、电磁透镜（6）; 短线圈磁场中的电子运动显示了电磁透镜聚焦成像的基本原理。实际电磁透镜中为了增强磁感应强度，通常将线圈置于一个由软磁材料（纯铁或低碳钢）制成的具有内环形间隙的壳子里。 ;三、电磁透镜（7）;三、电磁透镜（8）;+软磁铁壳 ;三、电磁透镜（9）;三、电磁透镜（10）;三、电磁透镜（11）;三、电磁透镜（12）;第二节 电磁透镜的像差与分辨本领 ;一、电磁透镜的像差（1） ;一、电磁透镜的像差（2）;一、电磁透镜的像差（3）;一、电磁透镜的像差（4）;一、电磁透镜的像差（5）;一、电磁透镜的像差（6）;一、电磁透镜的像差（7）;一、电磁透镜的像差（8）;一、电磁透镜的像差（9）;二、电磁透镜的分辨本领 （1）;二、电磁透镜的分辨本领 （2）;二、电磁透镜的分辨本领 （3）;二、电磁透镜的分辨本领 （4）;二、电磁透镜的分辨本领 （5）;二、电磁透镜的分辨本领 （5）;二、电磁透镜的分辨本领 （6）;第三节 电磁透镜的景深和焦长 ;一、景 深（1） ;一、景 深（1）;一、景 深（2）;二、焦长（1） ;二、焦长（2）;二、焦长（3）;第八章结 束