拉曼分析方法.doc

3.1.2 Raman和FTIR光谱分析 为了进一步研究讨论AlN薄膜样品a、b、c、d的物质结构。拉曼aman）光谱FTIR）光谱分析950–990 cm-1[10]在图中都可以清晰地看到，所以选择AlN薄膜的拉曼光谱的拉曼位移范围从600cm-1到1500cm-1。为了更清晰地研究和讨论AlN薄膜的拉曼光谱的特征峰，将950–990 cm-1范围的拉曼图放大在图3.6的右上侧。 图3.6 样品a、b、c、d的拉曼光谱图 左上插图为衬底Si的拉曼光谱图 右上插图为AlN薄膜的600-900 cm-1范围拉曼光谱放大图 根据群论可知，钎锌矿结构的AlN属于空间群C46v(P63mc)[11]，理论分析推测区中心的光学模式可以描述为Г=A1+2B1+E1+2E2，其中A1，E1和两个E2模式是拉曼活性，而B1则是非活性。而且，A1，E1模式分别劈裂纵向声子模式和横向声子模式，产生了A1 (LO, TO)模式和E1 (LO, TO)模式，在200-500 cm-1范围的AlN特征峰为声频声子，在600-900 cm-1范围的AlN特征峰为光频声子[12]。AlN薄膜的拉曼声子能量可以总结为表3.1[13]。 表3.1 AlN光学声子模所对应的能量（波数） Mode E2(low) A1(TO) E2(high) E1(TO) A1(LO) E1(LO) energy(cm-1) 248.6 611 657.4 670.8 890 912 由图3.6右上角插可以看出，分别在620, 670, and 824 cm-1中心附近位置有三个比较明显的拉曼特征峰，从表3.1中可以看出670 cm-1位置的拉曼谱特征峰对应于AlN薄膜的E1 (TO)模式。620 cm-1位置特征峰与表3.1不相符，但是H. Hobert[12]等人认为是AlN薄膜的A1 (TO)声子模式，本论文认为此峰应归为衬底硅的620 cm-1声子模式，从硅衬底的拉曼光谱中可以看出，另外与下边要讨论的AlN薄膜傅立叶变换红外光谱有非常好的吻合。H. Cheng[14]和C.T.M. Ribeiro[15]等人认为特征峰824cm-1可以归结为是硅衬底的拉曼峰，邓咏桢等人将此峰归结为硅衬底与AlN薄膜之间的三维岛状结构所致[16]，本文认为是衬底硅的拉曼特征峰。 当激光能量大于300mJ/puls时，AlN薄膜的670cm-1特征峰都可能清晰的观测到，这就说明激光能量在400, 500 and 600 mJ/puls时所制备的AlN薄膜都有很好的结晶，并且随着激光能量的增加，670 cm-1位置的特征峰也逐渐变地更加清晰，这与AlN薄膜的XRD图是相一致的，由此可以说激光能量越大，AlN薄膜的结晶质量就越好。 从所周知，红外吸收和拉曼散射光谱都可以用来研究晶格振动问题，并且可以互相补充，但时二者在原理和技术上不相同的，就振动光谱来讲，只有当分子在振动中偶极矩有变化时，才会产生红外吸收；只有当分子在振动中极化率有所变化时，才会产生拉曼散射；若分子在振动中既有偶极矩的变化又有极化率的变化，则在红外和拉曼光谱中同时出现谱带。一般来说，极性基团的振动和分子的非对称振动使分子的偶极矩发生变化，因而是红外活性的；非极性基团和分子对称振动使分子的极化率发生变化，因而是拉曼活性的。从能量关系来看，它们是两种不同的物理过程，红外吸收是一种共振过程，只涉及一个光子的湮灭，吸收光谱峰值能量即是待测样品晶格振动能级的间隔。拉曼散射过程是光子的组合过程，涉及两个光子的参与，待测能级的间隔是由入射光子与散射 光子的频率移动来确定的，也就是说，散射光频率移动量恰好等于被辐照物质的振动频率[17]。傅立叶变换红外光谱和拉曼光谱被认为是一种有效的研究材料的化学结构和物理特性的方法，AlN属六方晶系，红外光是横电磁波，其电场振动方向与传播方向垂直。当红外光的电场振动方向与AlN的某一模式振动方向一致时，这一模式就会强烈地吸收红外光，而得到最大的吸收强度，当电场振动方向与该模式振动方向垂直时，此时，红外光电场在模式振动平面内的分量最小，因而将得到最小的吸收强度。 图3.7是样品a、b、c、d的傅立叶变换红外吸收光谱，光谱分析范围从400到3900 cm-1，在做光谱分析时，想去除衬底Si的背景，但没成功，所以现把原始数据整理为图3.7，主吸收峰674 cm-1对应于AlN横向光频声子模式(TO)[18]，620[20]和1107 cm-1[21]位置的吸收峰属于衬底Si的峰，如图3.7所示。所有样品都能清晰地看到AlN的吸收峰，表明Al-N键己经结合，AlN薄膜己经形成，结合样品a、b、c、d的XRD及Raman图，说明在激光能量为300mJ/puls下制备的薄膜结晶不好，可能是非晶态，其余的样品都己结