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环球市场/电力工程 半导体硅片的品质工艺与产品质量 宋艳彤 天津中环半导体股份有限公司 摘要：半导体技术是一个国家科研、生产能力的集中代表，是 2.2 数据整理 未来社会与建设自动化和智能化的基础型技术。由于国家政策上和 仍然以某扩散工艺为例，收集到的原始数据一般包括很多采集 经济上的大力支持，一段期间内国内成立了大量的半导体材料生产 信息，如工艺时间、批号、生产设备、测试设备、作业员信息等。 企业，但随着市场的逐渐饱和，半导体材料产品逐渐出现过剩，企 一般是以生产设备进行分类，将测试的数据按时间前后进行排序， 业间的竞争变得空前的激烈，不少企业的生存遇到了困难，因此进 见表 1。 一步加强对其的研究非常有必要。在发展过程中要把握当前半导体 表1 某扩散工艺膜厚 技术的核心和关键，在重点技术环节取得关键性突破，这样，才能 将半导体技术更好地推向新的水平，进而适应科学、制造、生产的 趋势需要。 关键词：半导体硅片；品质工艺；产品质量 1 半导体技术的发展历程 半导体技术起源于 1948 年萧克立、巴定、布莱坦发明的双极 晶体管，这标志着半导体制造技术的开端，也是人类电子时代到来 的标志。1961 年，贝尔实验室发明了硒晶管和锗晶管，这代表着半 导体制造技术进入了成熟阶段。由于晶体管具有可集成的特性，在 平面加工工艺应用的基础上，半导体实现了量产化。进入到 20 世纪 70 年代，砷化镓作为新一代半导体制造的新材料取代了第一代半导 体材料，半导体产品在工业、军事、通信方面，实现了大范围应用。 特别是砷化镓在频率、噪音、功率、性能上的优势，使半导体制造 的产品得到了广泛地认可。半导体制造技术已经成为工业生产的基 础性技术。近 20 年来，氮化镓为代表的半导体得到了世人的瞩目。 氮化镓具有处理效率、光电效能、耐腐蚀、高强度等优良特性，特 别在军事、卫星、通信、计算等方面，有着种种的优势。相信，随 着半导体制造技术应用的进一步深入，半导体制造技术的优势将得 到进一步展现，半导体制造技术对工业生产和社会发展的效能也将 会大幅度提升。 2 半导体生产的特点 2.3 数据分析 2.1 数据采集 半导体制造厂和大多数其他传统制造行业一样，采用得最广泛 首先，要对工序进行失效模式及影响的分析，以便确定测试参 的是均值—极差图 (X-R) 来监控过程状态，如图 2 所示。图 2 就是根 数及测试点，以完成原始的数据测量及采集。以某扩散工艺为例， 据表 1 数据用 Minitab 作出的均值—极差图。 过程受多种因数 ( 如工艺温度、工艺时间、颗粒、气体浓度、设备真 空度等 ) 的影响，但是过程输出的主要指标是扩散后氧化层的厚度， 所以，应该选择该膜厚作为关键参数进行 SPC 监控，一旦数据异常 即可停机检查各项过程输入因数是否出现异常。半导体制造厂都是 由 MES 系统控制整个制造过程，并通过 MES 控制测试点的设置，抽 样频率和数量，一般是一个 Lot 抽测 1 片 Wafer。对于六寸半导体生 产线，一般每个 Wafer 测量 5 个点 ( 上、中、下、左、右 )，位置关 系如图 1 所示。 图2 均值一极差控制图 根据图 2 可以看出，有 10 个点超控制线，说明该工序很不稳 定，但这与实际非常不吻合。究其原因，是控制限的计算方法不 图1 Wafer 测量位置示意图 下转(第114页) -112- 环球市场/电力工程 入炉方式不够科学，入炉煤炭数量过多，容易在锅炉堆积，使煤炭 用；(5) 加强对燃料的管理，确保样品检测的准确性和原料质量的真 不能充分燃烧