粗糙度测量方法和对照表.pdfVIP

维普资讯 第 26卷 第 5期 光 学 仪 器 Vo1．26．No．5 2004年 1O月 oPTICAL INSTRUM ENTS October，2004 文章编号：1005—5630(2004)04—0054—05 表面粗糙度测量方法综述 刘 斌 ，冯其波 ，匡萃方 (北京交通大学理学院，北京 1OOO44) 摘要：表面粗糙度是机械加工中描述表面微观形貌非常重要的一个参数，表面粗糙度 测量技术是现代精密测试计量技术的一个重要组成部分 。综述 了接触式和非接触式两类测 量方法 ，着重介绍 了非接触式测量中的几种测量方法的测量原理及其优缺点。 关键词 ：表面粗糙度；接触式测量；非接触式测量 中图分类号：TG84；TH74 文献标识码 ：A Surveyofmeasurementmethodsforsurfaceroughness LIU Bin，FENGQi—bo，KUANGCui一 ng (DepartmentofPhysics，BeijingJiaotongUniversity，Beijing100044，China) Abstract：Surfaceroughnessisan importantparameterto reflectthemicro—geometryin machine process，andalsoan importantpartofmodernprecisemeasurementtechnique．Contactmeasurement andnoncontactmeasurementwassummarizedinthispaper，and theadvantagesanddisadvantagesare disucssed．Someideasaboutit’Strendaregivenintheend． Keywords：surfaceroughness；contact-mesurement；noncontact—measurement 1 引 言 表面粗糙度是机械加工中描述表面微观形貌最常用的参数，它反映的是机械零件表面的微观几何形 状误差，随着机械加工行业的发展表面粗糙度测量技术也得到长足进步，特别是 7o年代中后期，随着微电 子计算机应用的逐步普及和现代光学技术、激光应用技术的发展 ，使粗糙度测量技术在机械加工、光学加 工、电子加工等精密加工行业中的地位显得愈发重要。 表面粗糙度的测量方法基本上可分为接触式测量和非接触式测量两类：在接触式测量中主要有 比较 法 、印模法[、触针法 。·。等；非接触测量方式中常用的有光切法 、实时全息法Is～ 、散斑法 z．3．st、像散 测定法[]、光外差法[叫 、AFMC¨ 、光学传感器法[等。下面就接触式和非接触式两类测量方法分别 作介绍与讨论 。 2 接触式测量 接触式测量就是测量装置的探测部分直接接触被测表面，能够直观地反映被测表面的信息，但是这类 方法不适于那些易磨损刚性强度高的表面。 } 收稿日期：2003—12-08 作者简介：刘 斌(1979一)，男，河北沧州人，硕士研究生，从事光电检测方面的研究。 维普资讯 第 5期 刘 斌等 ：表面粗糙度测量方法综述 ·55 · 2．1 比较法 比较法是车间常用的方法。将被测表面对照粗糙度样板 ，用手摸靠感觉来判断被加工表面的粗糙度 ； 也可用肉眼或借助于放大镜、比较显微镜比较。比较法一般只用于粗糙度评定参数值较大的情况下，而且 容易产生较大的误差。 2．2 印模法 利用某些塑性材料作块状印模 ，贴合在被测表面上，取下后在印模上存有