气体微流量标准装置.pdfVIP

“ j 1995年12月 宇航计测技术 第15卷 第6期 气体微流量标准装置 兰 刘 强 吕时良 李得天 孟 扬 余锡盘 摘 介绍了气体微流量标准装置的工作原理．并对其测量不确定度进行了分折与验 证 测试结果表明：流量的校准范围为5．7．1～ 主题词 苎 堙·至氅 至塑塞塞． 1工作原理 弋}1当| 气体微流量标准是校准气体微流量的一种装置．也是真空计量的基础标准之一 可用于 气体微流量计的校准、标准漏孔的标定、气体微流量的计量与量值传递 国际上对气体微流量的研究虽然起步较早，但随着理论研究的深入和实践经验的积累， 才逐步对气体微流量测量的难度有了更具体和更深刻的认识。通过不断地改进和完善．相继 研制了几代气体微流量计 ] 近年来又投入了更大的人力和财力，从事更先进水平的气体 微流量计研制，进而发展到研制和建立气体微流量标准装置。 靛 ， 鼢 毫 体 电 FB一‘50 2X一2^ 圉1 气体徽灌量标准装量 收稿日期t1995 O6 2l 中国航天工业总公司510所。研究员。730000 ． ： ● j ～ 我们研制的气体教流量标准装置如图1所示 它由标准微流量计、流量校准系统和待校 流量引入系统三部分组成。 标准微流量计用于产生已知气体流量，也可测量流入它的气体流量 它是气体微流量标 准装置的基础核心。 流量校准系统由校准室和抽气机组成。当气体流入校准室(上球室)通过双球间的小孔 被分子泵抽走时，在校准室中产生的动态平衡压力P与流量Q成线性关系。 待校流量引入系统的作用是将待校流量引入到标准流量计或流量校准系统中。它由连 接待校流量的接头、管道、阀门等组成 气体微流量标准装置可用比较测量法和直接测量法对气体流量进行校准。 1．1 流量的测量过程 当校准流量时，将校准气体充入标准教流量计的变容室、参考室和稳压室中，并达到某 一 选定压力值P。然后打开阀门V ，使流量流出或流入变容室。流量稳定后，关闭变容室与稳 压室之间的阀门V 随着气体流入或流出，变容室的压力发生变化，连接在变容室和参考室 之间的差压式电容薄膜规(DCDG)输出非零信号，并反馈到伺服控制单元。由计算机自动调 节电机转速，使活塞以相应的速度在油室中运动．通过液压油压缩波纹管改变变容室的体 积．以保持变容室与参考室之间的压差尽可能的小，从而保证了变容室中的压力恒定。 通过测量变容室中的压力P和活塞速度V：△L／ ，同时考虑到温度修正，由流量计算 公式可得 Q=pA(ZXL／~t)( ／丁) (1) 式中：A—— 活塞横截面积，him ； ——参考温度，Kf丁—— 变容室中气体的温度，K。 1．2 流量的校准方法 1 2．1 比较测量法 比较测量法是将被校流量0引入校准室中，通过有效流导为e的小孔披分子泵抽走。 当该流量在校准室内所产生的压力P达到动态平衡时，压力P与流量Q的关系为 Q=P×C (2) 然后，用阀门隔断被校