光学非球面的环形子孔径检测技术研讨.pdfVIP

2006年光学测量技术讲座及研讨会文集 一一_—————————__———_——————_————————————————————————————一 光学非球面的环形子孔径检测技术研究 伍凡 侯溪 (中国科学院光电技术研究所 成都 610209) 摘要：环形子孔径技术是一种无需辅助元件就能检测旋转对称的大口径非球 面镜的有效手段．文中简要介绍了该技术的检测原理，提出了完整的实验数据处理流 程和相应的性能评估方法．数值仿真分析结果表明所提出的数据处理方法具有较高的 精度，并报道了对一口径为700mm、F2的抛物面镜进行检测的实验结果，初步显示 出该技术应用于大口径非球面镜测试的可能性． 关键词：光学测试；干涉计量；环形子孔径；非球面；拼接 1．引言 随着光学加工和检测技术的不断发展，大口径光学系统在天文光学、空间光学和 地基空间目标探测与识别、激光大气传输、惯性约束聚变(ICF)等高技术领域得到了越 来越广泛的应用。其中，大口径非球面光学元件已成为起支撑作用的关键部件之一。 制造大口径非球面镜要求精度与之相适应的检测方法和仪器，因此如何实现对大口径 非球面高精度检验具有重要的研究价值。 在大口径非球面加工的抛光阶段，通常使用的定量检测方法(补偿器法、无像差 点法和全息法)都需要制造辅助元件(补偿器、反射镜、全息图)；如果不使用辅助 元件进行检验，则可消除辅助元件制造和调整过程中的误差，将是光学测试领域追求 的目标。子孔径拼接干涉测试技术是一种以低成本检测大口径光学元件的有效手段。 当被测光学元件口径超过干涉仪的口径，或者产生的干涉条纹密度大于干涉仪中CCD 空间分辨率时，利用小口径干涉仪每次仅检测整个光学元件的一部分区域，在完成全 孔径测量后，使用适当的“拼接”算法重构出全孔径面形信息。 1982年，美国Arizona光学中心的C．J．Kira[1】首先提出了子孔径测试概念，使用小 口径平面反射镜阵列代替大口径平面反射镜实现了抛物面镜的自准直检验。到目前为 止20多年的时间里，子孔径测试技术得到了不断发展，按照所使用子孔径形状的不 同，可分为圆形子孔径、环形子孔径和矩形子孔径技术【z】；子孔径测试技术正从初期 的原理、实验研究阶段转入到应用研究和商业化的仪器研制阶段。圆形子孔径法一般 用于大口径平面镜、球面镜和适当偏离度非球面镜的检测，矩形子孔径法主要用于大 口径矩形元件的检测，环形子孔径法则适用于旋转对称的大口径非球面镜的检测。 1988年，Arizona光学中心的YM．Liu在子孔径测试概念的基础上，首先提出了环形 子孔径检测技术【3】，其拼接算法基于圆Zern／ke多项式系数。1992年，意大利的研究 人员M．Melozz／和L．pezzad(4]报道了环形子孔径测试非球面面形技术，提出了一种基于 相位测量值的拼接算法，其相邻子孔径间要求存在一定的重叠区。最近，GA．Fermm Ii0 2∞6年光学测量技术讲座及研讨会文集 物面镜。然而。环形子孔径测试技术仍处于实验研究阶段，未见其商业化仪器和工程 化应用报道，该技术的关键问题在于环形子孔径数据的准确提取、数据拼接处理以及 硬件方面的必要保证。 针对大口径非球面的研制需要，光电技术研究所先进光学研制中心开展了以环形 子孔径法检测大口径非球面镜的研究，在理论研究和实验方法上都取得了重要进展。 环形子孔径检测技术原理 相移干涉仪能方便地以曲率中心检验球面镜，但是以顶点曲率中心检验的大口径 非球面镜时，返回波前中的角误差可能非常大，以致一些光线不能回到干涉仪孔径内。 即使所有的光线都进入到干涉仪，参考球面波前和非球面镜表面之间大的斜率差也将 导致高的条纹密度。图l为顶点曲率中心检验非球面镜时的计算机模拟干涉图，图2 为一定离焦调整后的计算机模拟干涉图。由图中可以清楚看到，仅有部分干涉条纹密 度较小，其余部分条纹密度较大，具有较高的空间频率。 图1顶点曲率中心检验非 图2一定离焦后检验非球 球面镜的模拟干涉图 面镜的模拟干涉图 图3环形子孔径测试实验系