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离子辅助制备凹印耐磨层工艺研究
张跃飞,王正铎,付亚波,陈强,张广秋,葛袁静
(北京印刷学院等离子体物理及材料研究室,北京102600)
摘要:针对凹印版电镀存在的污染和高能耗,采用射频感应偶合(ICP)离子源辅助电子束沉积技术在凹印
镍版表面沉积了硬铬薄膜,通过控制离子源参数和加入过渡层来提高薄膜的与基体的结合力和显微硬度。研
究了不同工艺条件制备薄膜的组织结构和性能,并与工厂实用的电镀样品做了对比。结果表明,优化工艺条
件下的膜层,其硬度较高,表面均匀,与基体结合良好,可以达到甚至超过电镀样品;离子辅助和过渡层起
着重要的作用。
关键词:离子辅助蒸镀;耐磨涂层;凹版印刷
中图分类号:TS833
and ofwearableof
Preparationprocessing layergravureprintingby
ionbeamassisted onNisubstrates
deposition
WANG
ZHANG地P毋t
Zheng-duo,FUya-bo,CHENqiang,ZHANGGuang-qiu,GEYuan-fing
(Plasma Institute 102600)
PhysicsMaterialsLaboratory,BeijingofGraphicCommunication,Beijing
on surface ion
Abstract:HardCr NiandCu were meansof beamassisted
coatings depositedby deposition(IBAD)
SOas the of and
forthe of chromiumtoavoid
replacementelectroplated problemspollutinghydrogen·embrittlement.
The andmechanical ofthe wereexamined
morphologies properties coatings usingSEM,AFM,optical
testerand from
meter.Theinfluences
metallographiemicroscopy,micro-hardnesstester,scratchprofile processes
results and withthatofthe
onthe of are were
performancecoatingspresented.Some analyzedcompared
resultsshowthatit isfeasibletoobtainfineCrwear-resistantonNisurface
electroplatingcoatings,The coatings
with bombardmentand layers rolesforthe their
optimizedprocess.Ion gradientplayimportant coatingsduring
depositions.
words:ionassistedelectronbeamPVD;wear-resi
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