真空工艺与实验技术.pptxVIP

高年级研讨课真空工艺与实验技术韩 民2013年秋南京大学什么是空 真万物皆空？般若波羅蜜多心经觀自在菩薩 行深般若波羅蜜多時 照見五蘊皆空 度一切苦厄 舍利子 色不異空 空不異色 色即是空 空即是色 受想行識亦復如是 舍利子是諸法空相 不生不滅 不垢不淨 不增不減 是故空中無色 無受想行識 無眼耳鼻舌身意 無色聲香味觸法 無眼界乃至無意識界 無無明 亦無無明盡 五蕴皆空乃至無老死 亦無老死盡 無苦集滅道 無智亦無得 以無所得故 菩提薩埵 依般若波羅蜜多故 心無罣礙 無罣礙故 無有恐怖 遠離顛倒夢想 究竟涅盤 三世諸佛 依般若波羅蜜多故 得阿耨多羅三藐三菩提 故知般若波羅蜜多 是大神咒 是大明咒 是無上咒 是無等等咒 能除一切苦 真實不虛 故說般若波羅蜜多咒即說咒曰?揭諦?揭諦?波羅揭諦?波羅僧揭諦?菩提薩婆訶Vacuum理论真空 纯粹宇宙真空 宇宙射线 背景辐射 暗物质 暗能量真空技术在航天技术、电子材料、薄膜技术、光电器件、特殊冶炼、材料测试等近代尖端技术中都有重要应用。薄膜沉积设备的基本构成低温用了40年的热水瓶一定是个有故事的热水瓶杭州的储先生家的这个热水瓶用了40年了灌入沸水，时隔15小时后，水温约63℃。浙江大学物理学系厉位阳副教授说，从理论上来说40年依然保温几乎是不可能实现的。“热水瓶保温取决于内胆、渗漏和真空几个因素，任何一个条件的改变都会使得热水瓶保温效果下降。”美國加利福尼亞州利弗莫爾市第6消防站中的一只白熾燈泡現在已經109歲了，它被人們稱作?“百年燈泡”，因為它自從1901年首次投入使用後，至今已經亮了109年。在這一個多世紀中，“百年燈泡”很少被關掉過，它被關掉的最長一次時間只有一個禮拜。“世界最長壽燈泡”速调管；行波管；正交场微波管；高功率微波源；气体放电器件；阴极和热子组件；真空微电子学；微波管发射机；微波管发射机电源；脉冲调制器；掺杂 向晶体中掺入一定的杂质，并按一定的要求分布 材料制备与合成过程中掺杂：如单晶生长、薄膜生长等 扩散 气态源扩散：掺杂剂从气相直接向固相中扩散 固态源扩散 液态源扩散 离子注入 优势：严格控制掺杂剂量、一定程度上控制掺杂分布缺点：晶格损伤、高剂量注入的产率课程主要内容1、真空物理2、真空获得技术3、真空测量4、真空材料的处理5、真空连接6、真空技术实践7、真空系统构成与设计8、真空器件与真空应用课堂讲授，实验，讨论交流一、真空基础1、真空的概念真空是指 在指定空间内低于环境大气压力的气体状态 该空间中气体分子数密度低于当地大气压的 气体分子密度完全没有气体的空间状态称为绝对真空。绝对真空实际上是不存在的。大气的存在，产生了对真空的需求为什么天空是蓝的？地球是蓝的？告訴你吧，世界 我--不--相--信！ 縱使你腳下有一千名挑戰者， 那就把我算作第一千零一名。 我不相信天是藍的， 我不相信雷的回聲， 我不相信夢是假的， 我不相信死無報應。 如果海洋註定要決堤， 就讓所有的苦水都注入我心中， 如果陸地註定要上升， 就讓人類重新選擇生存的峰頂。 新的轉機和閃閃星斗， 正在綴滿沒有遮攔的天空。 那是五千年的象形文字， 那是未來人們凝視的眼睛。 回答 卑鄙是卑鄙者的通行證， 高尚是高尚者的墓誌銘， 看吧，在那鍍金的天空中， 飄滿了死者彎曲的倒影。 冰川紀過去了， 為什麼到處都是冰淩？ 好望角發現了， 為什麼死海裏千帆相競？ 我來到這個世界上， 只帶著紙、繩索和身影， 為了在審判前， 宣讀那些被判決的聲音。 真空常在：限制了气体的流动，就能产生局部真空人体是一个真空系统呼吸时肺部会扩张，吸气前肺部内的气压会低于大气压，形成真空(1/2大气压)接吻的时候，同样会形成真空真空不空10-12大气压下： 气体分子密度：3.55×106气体分子/cm3 气体分子平均自由程：509km 与表面碰撞频率：3.8×1010次/cm2/s 碰撞即吸附与表面，形成一个但分子吸附层的时间：3.5h水蒸汽、水银蒸汽密度：3.55×1016气体分子/cm3P=nkT1. 真空度和压强真空容器中的真空度用其中气体的压强表示，压强愈低真空度愈高。1标准大气压=1atm=760mmHg托帕斯卡毫巴压强与气体密度：压强与气体分子平均自由程：真空度的划分：（1）低真空7.6?104－102Pa（2）中真空102－10-2Pa（3）高真空10-2－10-7Pa（4）超高真空10-7－10-9Pa（5）极高真空10-9Pa真空度的划分(国际)：（1）低真空7.6?104－102Pa（2）中真空102－10-2Pa（3）高真空10-2－10-7Pa（4）超高真空10-7－10-9Pa（5）极高真空10-9Pa真空度的划分(国标GB/T3163-93)：（1）低真空105－10