真空工艺与实验技术-四、构建真空系统.pptxVIP

真空系统的抽气;;;提高系统极限真空的方法： 采用大抽速超高真空泵(有足够的资金！) 降低容器内各种气源形成的气体增加率;吸附与脱附;吸附热和脱附能：吸附过程中，气体分子势能减少，放出热量 固体表面吸附1mol气体所放出的热量为吸附热 物理吸附：~5Kcal／mol 化学吸附：数百Kcal/mol 气体分子脱离固体表面(脱附)时，外界所供给的能量为脱附能 吸附热=脱附能 吸附量：固体表面单位面积上吸附气体的数量，mol/cm2, mol/g 比表面积 表面覆盖度：固体表面吸附的气体分子数与表面可能吸附的总分子数之比 平均吸附时间：气体分子从被固体表面吸附到脱附所经历的时间 （滞留） 与固体表面温度与脱附能密切相关 表面形成单分子层时间：单层气体分子布满表面所需时间 1cm2固体表面上单分子层大约含1015个气体分子 ;减小漏气率QL的方法： (1) 焊接、检漏 (2) 法兰密封 高真空：丁腈橡胶圈 超高真空：无氧铜圈;（一）可拆卸密封连接;每一枚火箭助推器都要在填装数百万磅的固态助推燃料后送往卡纳维拉尔角发射基地，由于没有铁路可以运输38.4 m长的物体，所以，不得不把火箭分成几部分用船运到佛罗里达，在发射现场进行组装。 　　需要在各部分的接合处采用密封机构来防止热气跑出火箭。这份工作由两条名为“O圈”的橡胶带完成，它们可以随着钢圈一起扩张，并能弥合缝隙。如果这两条橡胶带与钢圈脱离哪怕0.2秒，助推器的燃料就会发生泄露，固态火箭助推器就会爆炸。 　　“挑战者”发射那天，天气非常寒冷。气温降低后，这些“O圈”就变得非常坚硬，伸缩就更加困难。坚硬的“O圈”伸缩的速度变慢，密封的效果就大打折扣。虽然那可能只是零点几秒的时间，但足以把一次本应成功的发射变成一场灾难。 ;橡胶密封 特点：安装简单，可反复拆卸，成本低，易加工 缺点：不能承受高、低温，出气率和透气率相对较高 基本要求：高弹性，低透气率 表面光滑，无划伤、无裂纹 ;天然橡胶：透气率大，耐油性与抗老化性差， 使用温度低于100°C 丁基橡胶：透气率很小，可用于10-5Pa真空 超高真空升华严重，不适用 丁晴橡胶：在高真空范围广泛使用，温度100°C以下 耐油合成橡胶 聚氨酯橡胶：机械强度高（丁晴橡胶的1-4倍） 耐磨(天然橡胶的5-10倍) 抗撕裂强度高 耐油 不耐高温、水，70-80°C 氟橡胶：耐高温、耐各种介质 气体扩散速度小，透气性很小，高温出气率低 10-5-10-7Pa真空，甚至10-8Pa 价格昂贵，通常用于需要烘烤的高真空或超高真空 硅橡胶：耐热：工作范围：-100~350°C，缺点：气体渗透率高;;平整无损的密封面 清洁无异物的密封面 均匀地上紧螺丝(均匀比力量更重要);UHV Equipment: Blank Flanges;开口扳子;活动扳手;L;非不锈钢紧固件;;Vented Screw;真空法兰标准;国家标准;2 3/4”;35;固定法兰;活套法兰;UHV Equipment: Misc.;T形管;Bellows and Hoses 波纹管;观察窗;(2) 橡胶密封;卡钳垫块连接;卡钳螺钉连接;卡钳活螺栓连接;? KF fittings are used for through or foreline vacuum plumbing and simple HV (10-8 Torr) chambers ? Elastomeric o-ring limits the connection’s temperature range and