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第9期 机械设计与制造
2013年9月 MachineryDesign＆Manufacture 73
涡轮分子泵轴系结构关键特性的有限元分析
程序雳，罗阳
(四川大学制造科学与工程学院，四川成都610065)
摘要：涡轮分子泵是一种利用高速旋转的叶片把动量传输给被抽气体分子，使气体分子能够连续不断地从入12运动
到出口并排出的动量传输式真空泵。作为高速精密机械的一种，涡轮分子泵对其轴系结构的机械特性有着很高要求。
现以有限元分析软件SolidWorksSimulation为依托，结合基础理论知识和传统算法，将有限元法引入到了涡轮分子泵
轴系结构的设计中，并分析涡轮动叶片在工作状态下由于离心作用、温度升高作用产生的变形以及分析这两种特性对
变形量的影响。
Simulation
关键词：涡轮分子泵轴系结构有限元法SolidWorks
文献标识码：A 文章编号：1001—3997(2013)09-0073-02
中图分类号：THl6；v43“．21
FiniteElement oftheTurbo-Molecular
Analysis Pump
ShaftStructure’Sfeatures
Key
CHENG
Xu-li，LUO
Yang
(Schoolof Scienceand University，Sichuan610065，China)
ManufacturingEngineering，Sichuan Chengdu
is the bladeto
Abstract：Turbomolecularamomentum vacuumwhichcanuse
type rotating
pump transfer pump high-speed
momentumtomolecules andmakethemmove anentrance thento
ofthe gas continuouslyfromto帆export
transfer pumped
ive molecularhas toitsmechanical
out．As口type machinery，turbopumpveryhighrequirements
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