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关于TFTLCD中Gate Pad腐蚀分析及改善 　　摘 要：腐蚀问题一直是影响产品品质的一大罪魁，在TFT-LCD（thin film transistor-liquid crystal display）以及其它显示器件产品中，由于腐蚀造成的亮线、异常显示等不良严重影响到产品的使用效果。文章结合实际生产情况，对栅极Pad腐蚀多发不良进行了理论研究，并从设计、工艺等角度提出了多项解决方案。根据实验测试结果，腐蚀问题得到了很好的控制，不良比率降低80%以上，产品品质得到了有效的保证，并为相关领域实际生产及研究奠定了一定的理论基础。 　　关键词： 薄膜晶体管；栅极；腐蚀 　　中图分类号：TN141.9 文献标识码：B 　　 　　Analysis and Improvement of Gate Pad Erosion on TFT-LCD 　　 　　LU Lin-lin, YU Yang, XU Shuai 　　(Beijing BOE Optoelectronics Technology Co., Ltd., Beijing 100176, China) 　　 　　Abstract: For TFT-LCD and other display products, erosion is a relatively common defect that degrades the display quality greatly, such as line defect, abnormal display, etc. Failure mechanism of gate pad erosion is researched theoretically according to the practical mass production. Based on design and process, several solutions are brought forward in the paper. The test result indicates that erosion is effectively prevented and an 80% reduction of defect ratio is achieved. The research provides a theoretical basis for practical production with regard to correlative industries. 　　Keywords: TFT; gate pad; erosion 　　 　　引 言 　　 　　 凭借着低功耗、轻量化和低辐射等众多优势，TFT-LCD已逐渐取代传统的阴极射线管显示器（CRT）而成为现代显示领域的主导。TFT-LCD目前普遍采用有源矩阵驱动方式，即源极（source driver）负责数据信号的传输，栅极（gate driver）负责扫描信号的传输，通过控制液晶分子的偏转角度实现不同灰阶的显示[1]。其中，负责源极数据信号传输的IC及控制栅极开启/关闭功能的驱动IC一般采用COF（chip on film）封装方式，COF通过各向异性导电胶（ACF）与TFT Pad压合在一起[2]。 　　 TFT-LCD制作工艺复杂，而伴随的缺陷不良也种类繁多。其中由于COF压合区域Pad腐蚀而导致的产品返品率一直居高不下，主要表现为X向（纵向）或Y向（横向）亮线不良，其中Y向不良的发生比率更高。由于该不良的不可预见性及发生具有一定的时效性（在客户端使用一定时间后才发生，且多雨潮湿气候环境下发生比率较高），而成为困扰产品可靠性的难题，对于其预防和管控方法也成为TFT-LCD制造商重点研究的一项课题。本文将对该类型腐蚀不良的形态、影响因素等进行分析，并结合多年的工作经验对不良的管控和改善方法进行探讨，希望能为实际生产提供参考。 　　 　　1不良形态及原因分析 　　 　　 本文以19in产品为例，以发生比率较高的Y向亮线不良为研究对象。图1所示为液晶屏正常点亮状态下的不良表现，主要原因为某一条或若干条栅线Pad由于腐蚀而开路，栅极控制信号无法传输到液晶屏内（panel），数据信号不能导入，因此无法正常显示。 　　1.1腐蚀形态 　　 不良样品分解后，显微镜下观察Gate Pad区域，如图2所示。腐蚀形态大致可分为两种，一种是沿TFT glass外边缘逐渐向内侧腐蚀，直至color filter glass边缘，严重者甚至腐蚀至active area；另一种是以TFT glass内侧某一点为中心向两端腐蚀，此类型多发生在color filter glass的外边缘处。其中，前者