基于勒让德多项式各项系数拟合柱面镜面形检测研究.docVIP

基于勒让德多项式各项系数拟合柱面镜面形检测研究 　　摘要： 　　超薄玻璃热成形技术是目前国际上研制X射线掠入射天文成像望远镜的重要技术之一，超薄玻璃圆柱面镜片面形的高精度检测是实现超薄玻璃热成形的关键。围绕我国高能X射线掠入射天文望远镜研制对高面形精度的超薄玻璃柱面镜的需求，采用勒让德多项式对柱面镜面形的测量数据进行拟合，利用勒让德多项式各项系数与特定的几何像差的对应性，通过拟合勒让德多项式各项的系数，获得了待测柱面镜面形的特定几何像差，为全面评价柱面镜面形质量提供了参考。 　　关键词： 　　柱面镜； 勒让德多项式； 最小二乘法； 像差 　　中图分类号： TN 253 文献标志码： A doi： 10.3969/j.issn2016.01.003 　　Figure error test of the cylindrical lens surface based on the fitting of 　　coefficients of Legendre polynomials 　　YANG Xing， WANG Zhanshan 　　（Key Laboratory of Advanced Microstructured Materials of MOE，School of 　　Physics Science and Engineering， Tongji University， Shanghai 200092， China） 　　Abstract： 　　The nominally cylindrical glass segments are forced to a conical form during the assembly process of an Xray imaging telescope as the ultrathin glass thermal slumping technique being fully successful. The surface should be measured in order to make highquality glass with cylindrical surface. Each coefficient of the Legendre polynomials corresponds to the specific geometrical aberration. In this paper， figure error of cylindrical lens is obtained based on the fitting coefficients of Legendre polynomials， which provides an exact method for cylindrical lens surface measurement. 　　Keywords： cylindrical lens； Legendre polynomials； least square method； aberrations 　　引 言 　　X射线天文观测是人类认识和了解宇宙，尤其是宇宙起源、超新星遗迹、黑体的重要手段。自20世纪60年代，人们开始运用WolterI型望远镜对各种天体进行观测。WolterI型望远镜是由共焦的掠入射抛物面和双曲面反射镜组成，为了获得大的有效面积，采用了嵌套结构。从1999年起，先后发展了基于常规光学方法制作镜片的Chandra望远镜[1]，基于Ni电镀方法制作镜片的Newton望远镜[2]，基于铝薄片成型分离方法制作镜片的ASCA[3]和Suzaku[4]X射线望远镜。铝薄片镜片的使用虽然大大降低了望远镜的造价，但是其自身性质限制了这种方法制作望远镜分辨率的进一步提升。随着技术的发展，人们可以采用超薄玻璃制作望远镜的反射镜片替代原有的铝片。2012年，美国发射的NuSTAR卫星[5]是采用超薄玻璃镜片制作望远镜的典范，其分辨率是58″。这种方法制作的反射镜片是先制作出圆柱面形状，在装配时将其压成圆锥面以达到设计要求。因此，在进行这种望远镜研制过程中，如何精确测量圆柱面面形是改进工艺、提高镜片制作质量的关键。 　　圆柱面面形检测方法有很多，常用的有三坐标测量法和采用计算全息图（CGH）的干涉测量法。一般的三坐标测量是用触针式探头接触待测圆柱面表面，通过探头位置读出并记录待测点的三坐标值，得到被测面的面形。当对厚度只有0.21 mm的超薄玻璃镜片测量时，这种方法会引入较大误差，不能满足面形测量精度的要求[6]。采用计算全息图的方法是用计算全息图产生柱面波，该柱波面与待测圆柱面表面反射的柱面波进行干涉，根据干涉结果计