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大尺寸几何量检测光电系统研究 　　1 引言 　　 　　有些不透明圆柱体(如电缆、钢管等)在加工过程中要求实时检测,自动调节控制。目前国内外用于几何尺寸的检测方法常有接触式,甚至用人工直接量测,检测手段比较落后,速度低、精度低、劳动强度大、可靠性差等。为了克服上述检测困难和不足之处,我们研制了一种用激光和CCD测量几何尺寸的办法。用在比较典型的电缆生产过程中外径的在线实时检测,其特点工作稳定、精度高、效率高。 　　 　　2 测量原理 　　 　　这里以不透明圆柱体(如电缆、钢管等)的外径为被检测对象来进行分析,测量宽度、厚度等和测量其他几何尺寸的原理一样,见图1。 　　用CCD成象法测量几何尺寸的一般情况:当被测体处在一束平行光光路中时,其背后便产生与之相对应的阴影轮廓,经透镜放大或缩小后,阴影轮廓成象于CCD线阵上,则CCD输出―宽度与之相对应的脉冲序列。经放大、二值化处理、整形,即可得到与测量有对应关系的输出。例如测电缆外径时,D的表达式为 　　D=(N-n)k/β(1) 　　式中N为CCD的有效光敏元全被照亮时输出的脉冲数;n为CCD被工件部分遮住后被照亮的光敏元数;k为每个脉冲的尺寸当量,其值为相邻两光敏元之间的中心距离;β为透镜系统的放大倍率。 　　为了提高测量精度,最好使β〉1。每只CCD光敏区的尺寸是固定的,当被测件的尺寸较大时,其阴影轮廓可能将CCD光敏区全部覆盖。为了能够测量,可以缩小放大倍率,使β〈1,但这样又必然导致测量精度下降,为此,我们设计了分裂式CCD的结构形式。它由两片CCD构成,如图2所示。其中图2a用来测尺寸更大的外径,它们测量时用的计算公式分别是: 　　对图2a 　　D=〔(N??1+N??2)-(n??1+n??2)〕k/β-γ(2) 　　对图2b 　　D=〔(N??1+N??2)-(n??1+n??2)〕k/β+γ(3) 　　式中N??1为CCD??1的有效光敏元数;N??2为CCD??2的有效光敏元数;n??1为CCD??1被照亮的光敏元数;n??2为CCD??2被照亮的光敏元数;γ为两只CCD光敏区内沿之间的距离,k和β的含义同(1)式。 　　这样,当测知两只CCD被照亮的光敏元总数并预知γ、κ及β之后,经过标定再通过(2)式或(3)式进行计算处理便可求得被测物的外径了。 　　 　　3 光学系统 　　 　　首先考虎光源的选择。P型硅作衬底的CCD,其通过频带大约为0.5000～0.8000μm,基本属可见光范畴。因此,用一般的白炽灯、卤钨灯均可。由于激光具有极好的单色性和方向性,况且He-Ne激光的波长λ=0.6328μm,正好落在CCD光谱响应区相对灵敏度的极值附近,因此He-Ne激光对CCD来说是相当理想的光源。必要时,在CCD前加上一只滤光片,还可以消除杂散光的影响,提高CCD输出的信噪比S/N。我们用来测控电缆外径的现场是:电缆处于高温(250℃以上)、高压蒸气之中,而水蒸气的吸收光谱中是不含0.6328μm这一波长的。 　　为了使平行光能够覆盖全部CCD光敏元,往往需要将直径约为0.5mm的激光扩束百倍以上。例如测量D=70mm的电缆时,就应至少扩束约150倍。但线阵CCD的光敏区仅仅是极窄的一长条,其宽度仅为14μm,因而绝大部分光是无用的。而这么大的扩束倍率引起的后果又是:(1)透镜系统复杂化;(2)光质不易均匀;(3)光强减弱太多。当使用小功率激光管时还有可能达不到照亮CCD所需要的勒克司数。为此,我们设计了图3所示的双路分光系统,从而较好地解决了上述矛盾。 　　如果不分光,平行光束的截面积至少应为S=π4L??2,而分成两束平行光时,其截面积之和最大为S′=π4(L2)??2×2=S/2即可。事实上,在测大尺寸圆柱体外径时,分光后平行光束的直径一般要比L/2小得多,测S′也将远远小于S。事实证明,不论从光质、光强、光学系统的尺寸、实现时的难易程度以及对激光功率的要求等任何指标考虑,分光法都是优越的 　　 　　4 电学性能 　　 　　电学系统的关键是处理好各驱动脉冲波形的质量,它们之间的时序关系以及CCD输出信号经放大后的二值化等问题。 　　CCD工作时需要处接的驱动脉冲主要有:光电转换用的光积分脉冲(同步脉冲)R????11??、自扫描用时钟脉冲φ??1、φ??2(我们用的是两相驱动2048位CCD)、输出用的复位脉冲R??S等。这些脉冲周期的选择可由CCD输出信号的周期来决定。大直径电缆的走线速度较低,但为了提高测量的精确度,每场的采样周期也可短些。 　　两相驱动时钟脉冲的频率是复位脉冲的一半,而在时序上则应滞后于复脉冲的10～250ns,为此,可先把R??S延时10～250ns,然后再经过分频电路得到。同步