非共轴掠入射X射线显微镜参数误差分析.PDFVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １４ １ 　 Ｖｏｌ．１４ Ｎｏ．１ 　 　 　　　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００６ ２ Ｆｅｂ．２００６ 　　 　　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００６０１００３４０９ 　 非共轴掠入射 射线显微镜参数的误差分析 Ｘ 赵玲玲，胡家升，李 祥 　 （大连理工大学 电子与信息工程学院，辽宁 大连 １１６０２４） 摘要：设计了一套由 个反射镜组成的非共轴掠入射 射线显微镜，分析了该系统的像差和成像质量。为了研制出高质 ４ Ｘ 量的设备，需要制定合理的加工和装配公差。研究了由于元件和结构参数（反射镜的半径，物距，掠入射角等）的误差而 引起的高斯参数和像差的变化。首次用点列图和调制传递函数来定量评价图像质量降低的程度，并在此基础上制定了 合理的加工和装配公差。在这些公差的约束下，研制成一套非共轴掠入射 射线显微镜，在激光引爆的惯性约束聚变 Ｘ 的诊断实验中，用该系统获得了高质量的图像。 关 键 词： 射线成像； 射线显微镜；公差制定；误差分析 Ｘ Ｘ 　 　 中图分类号： 文献标识码： ＴＨ７４２．６３ Ａ 　　 犈狉狉狅狉犪狀犪犾狊犻狊狅狀狋犺犲犪狉犪犿犲狋犲狉狊狅犳狀狅狀犮狅犪狓犻犪犾狉犪狕犻狀犡狉犪犿犻犮狉狅狊犮狅犲 狔 狆 犵 犵 狔 狆 ， ， ＺＨＡＯＬｉｎｌｉｎ ＨＵＪｉａｓｈｅｎ ＬｉＸｉａｎ ｇ ｇ ｇ ｇ （ ， 犛犮犺狅狅犾狅 犈犾犲犮狋狉狅狀犻犮犪狀犱犐狀狅狉犿犪狋犻狅狀犈狀犻狀犲犲狉犻狀 犳 犳 犵 犵 ， ， ） 犇犪犾犻犪狀犝狀犻狏犲狉狊犻狋 狅 犜犲犮犺狀狅犾狅 犇犪犾犻犪狀１１６０２４ 犆犺犻狀犪 狔 犳 犵狔 ： 犃犫狊狋狉犪犮狋Ａｓｅｔｏｆｎｏｎｃｏａｘｉａｌｒａｚｉｎ Ｘｒａ ｍｉｃｒｏｓｃｏｅｃｏｎｓｉｓｔｉｎ ｏｆｆｏｕｒｓｈｅｒｉｃａｌｍｉｒｒｏｒｓｗａｓｄｅ