近紫外区宽带反光镜膜系优化设计与制备.docVIP

近紫外区宽带反光镜膜系优化设计与制备 　　摘要： 　　依据紫外光学系统中紫外反光镜的使用要求，并结合汞灯发光光谱，提出了R93%@300～450 nm（R为反射率）；Tavg85%@500～1 000 nm（Tavg表示平均透过率）的近紫外区宽带高反射率的设计指标。选用Ta2O5和SiO2分别作为高低折射率材料，并采用正交试验法确定了Ta2O5和SiO2膜料的折射率、消光系数和制备工艺参数。在规整周期性膜系的基础上，利用膜系设计软件进行优化设计，同时分析了膜层的敏感度，保证了镀制的可重复性。通过曲线测试和环境试验结果表明，该膜系满足设计使用要求。 　　关键词： 　　近紫外； 超宽带； 高反射； 膜系设计； 折射率 　　中图分类号： O 484.5文献标志码： Adoi： 10.3969/j.issn.1005-5630.2016.04.017 　　Abstract： 　　According to the operating requirements of ultraviolet reflector in the ultraviolet optical system，and with mercury lamp luminescent spectrum，the near ultraviolet broadband high reflectance design inde