超声辅助激光加工装置的设计及其在材料加工中的应用-材料工程专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 安徽建筑大学 本论文经答辩委员会全体委员审查，确认符合安徽建筑大学硕士学 位论文质量要求。 答辩委员会签名 主席： 委员： 导师： 独 创 性 声 明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作 及取得的研究成果。尽我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外， 论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得 安徽建筑大学 或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一 同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并 表示谢意。 学位论文作者签名： 签字日期： 年 月 日 导师签名： 签字日期： 年 月 日 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解 安徽建筑大学 有保留、使用学位论文的 规定，即：研究生在校攻读学位期间论文工作的知识产权单位属于 安徽 建筑大学 。学校有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和 磁盘，允许论文被查阅和借阅。本人授权 安徽建筑大学 可以将学 位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩 印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。（保密的学位论文在解密后 适用本授权书） 学位论文作者签名： 签字日期： 年 月 日 导师签名： 签字日期： 年 月 日 摘 要 超声加工和激光加工是近来较为常见的特种加工工艺。由于其具有较好的加工优 势，故被广泛应用于航空航天，电子电路器件以及精密机械等行业。超声辅助激光加 工是把两者的优势复合的工艺方法。其加工原理：在激光加工的同时超声振动信号激 励加工物体作高频的微米级振动，即激光加工为主要加工，超声振动系统辅助加工， 物体的高频振动能够加快激光烧蚀区域的空气流动，同时对加工的残渣起到振动抛出 的效果，一方面提高了激光的利用率，另一方面降低了熔渣残留在加工表面形成重铸 层。现在对超声辅助激光加工的研究还比较少，一些学者对其复合加工机理做了研究， 目前对超声辅助激光加工装置的设计和制造还没有一套完整的方案。本文基于此，对 超声辅助激光加工装置的设计制造作了以下几点研究： （1）总结超声辅助激光加工的国内外现状，提出对超声振动辅助系统设计的要 求。要求设计的超声振动系统能够有助于激光加工，能激励试样做到加工的同时自身 沿着纵向做微米级的高频振动，对于不同的加工条件，振动系统能够方便的做出参数 调节和改变。 （2）对超声振动系统进行有限元分析，分别研究了振板的厚度，换能器的个数， 频率和布置方式对振板振动特性的影响。最后得出超声振动系统中各部分参数最优的 选择。主要有，振板的尺寸为 250mm×150mm×1.5mm，换能器采用 3 个频率 28KHz 的沿着振板中线均匀布置方式，用有限元分析超声振动系统可达到振幅 3.89μm 的高 频振动。 （3）设计制造了超声振动系统，具体选择了无极调频的超声发生器以及振动系 统中包括箱体的加工，夹具的设计加工，整体装置的调试等。 （4）对研制的超声振动系统测试，设计并搭建了用压电式加速度传感器测量振 幅的装置，得出系统平均能达到振幅 3.59μm 的高频振动。把研制的超声振动系统与 激光设备复合对氮化硅陶瓷切槽，得出试验结果，有超声辅助的槽更深，槽底的微观 形貌要优于无超声辅助的情况。 本文研究一种新型的复合加工技术，把超声振动引入激光加工，弥补了激光加 工的不足，对难加工材料的切槽、打孔等工艺具有很高的应用价值，满足对材料加工 质量更高的要求，并提供了专用的复合装置，实现更好的加工效果。 图[53] 表[4] 参[59] 关键词：超声波振动系统；激光加工；复合加工；装置设计；加工表面质量 分类号：（TH6） I Abstract The ultrasonic machining and laser processing are a non-traditional machining, more common in these years. Since its good processing advantages, they have been widely used in aerospace, electronic circuit device and precision machinery and other industries. Its working principle: it uses laser processing as the main processing and ultrasonic vibration system for secondary processing. The ultrasonic signal incentive sample for micron level of high frequency vi