超磁致伸缩直线电机的结构优化设计与控制研究-机械设计及理论专业论文.docxVIP

上海交通 上海交通大学硕士学位论文 摘要 万方数据 万方数据 超磁致伸缩直线电机的结构优化设计与控制研究 摘 要 随着科学技术的飞速发展，尤其在精密光学工程、半导体制造、超精密微细 加工与测量技术、微型机电系统、航空航天技术等诸多尖端科技领域，越来越需 要一种高性能的精密直线驱动技术。本课题正是基于这种需求提出了一种“大负 载超高精度驱动超磁致伸缩直线电机”。直线电机基于尺蠖运动原理，并以超磁 致伸缩驱动器(Giant Magnetostrictive Actuator，GMA)为驱动核心元件。本文以直 线电机为研究目标，从基础理论、结构优化设计、实验测试及相关控制技术几方 面进行了系统的研究。 第一章：介绍了研究超磁致伸缩直线电机的意义。简单阐述了超磁致伸缩材 料特点和应用领域，总结了智能结构直线电机的类型和应用领域、发展现状和控 制方法。 第二章：首先介绍了超磁致伸缩驱动器(GMA)的结构及工作原理，在此基础 上阐述了超磁致伸缩直线电机的结构和工作原理。基于 COMSOL 有限元分析软 件分析了直线电机部分构件的刚度，并实现了直线电机结构的优化设计。 第三章：为直线电机的实验测试，首先优化了直线电机的控制信号，其次测 试了直线电机的速度特性、负载特性和运动分辨率，并对实验数据进行了分析。 第四章：根据超磁致伸缩直线电机的机械结构和超磁致伸缩材料的材料特性 建立了超磁致伸缩直线电机的动力学模型。基于 MATLAB/SIMULINK 实现了直 线电机变负载和变输入信号的仿真，将仿真结果与实验结果进行比较。 第五章：在前文所建立的动力学模型和实验测试所得数据的基础上。提出了 实现超磁致伸缩直线电机精密定位的控制方法，进行了控制实验，最后分析了影 响定位精度的相关因素。 第六章对全文的工作内容进行总结，并对后续研究进行展望。 关键词：超磁致伸缩驱动器，尺蠖运动，纳米级精密驱动，直线电机， 动力学模型, 结构优化设计 I 上海交通 上海交通大学硕士学位论文 ABSTRACT RESEARCH ON THE OPTIMIZED STRUCTRUAL DESIGN AND CONTROL OF GIANT MAGNETORSTRICTIVE INCHWORM LINEAR MOTOR ABSTRACT With the development of modern science and technology, there is an increasing demand for active-materials-drive inchworm linear motor in the field of automotive, aeronautical and astronautic industries in nowadays. This thesis presents a magnetostrictive inchworm linear motor which has the potential to secure a long stroke with heavy load and nano-metric positioning. The design of the magnetostrictive inchworm linear motor is based on inchworm motion and that three giant magnetostrictive actuators (GMA) work as core drive units. In this thesis, the research on the linear motor consists of basic theory, structural optimum design, experiments and control system. In chapter 1, the thesis introduces the state-of-art of magnetostrictive inchworm linear motor, summarizes the type and development of linear motor, and presents the characteristic, application and control method of the magnetostrictive inchworm linear motor. In chapter 2, the thesis introduces the structure and operational principle of permanent magnetic biased GM