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第5卷 第4期 光学 精密工程 . 5, . 4
V o l N o
1997年8月 O P T IC S AN D PR EC IS ION EN G IN EER IN G A u gu st, 1997
异形回转零件的一种图像测量研究
缪秀娥
(华南理工大学机电工程系, 广州 5 1064 1)
肖沙里 钟先信 陈 愚
(重庆大学光电精密仪器系, 重庆 630044)
摘要 讨论了利用线阵CCD 图像测量方法。配备 Z 、Y 二维运动工作台及绕 Z 轴
回转数显工作台, 对异形回转体三维轮廓尺寸进行检测, 用M ar r 边缘检测算子对 CCD
获得的原始灰度图像进行处理, 采取最小二乘法完成曲线拟合, 以获得亚像元分辨率。
在对 200 异形回转体零件进行尺寸测量时, 测量系统的分辨率达到微米级的水
mm
平。
关键词: 位置测量; 线阵CCD ; 边缘检测
1 引 言
随着现代科学技术的发展, 物体表面轮廓的三维测量已成为现代测量技术的一个重要分
支。在物体三维轮廓测量方法中, 常用的有三座标测量法、干涉测量法、莫尔等高线法、相位测
量法等。而非接触式的CCD 图像测量较其它方法有其自身优势, 譬如测量效率高, 可对那些薄
壁、软质易变形的以及有化学污染一类的零件进行非接触在线快速测量等。电荷耦合器件
CCD 由于具有 自扫描、光电灵敏度高、几何尺寸精确、敏感单元尺寸小等一系列优点, 因而被
广泛地用于工业非接触测量领域中。在精密定位、尺寸测量等方面, 光敏面上均表现为空间光
强分布的形式, 经过数据采集和处理获得被测图像有关信息。随着计算机技术的普及, 采用
CCD 器件和计算机数据采集、光学成像、机械运动组成的图像测量系统, 能实时地对被测图像
进行快速采样、存储和数据处理, 实现光机电算一体化检测。本文介绍采用5000像元线阵摄像
机及其图像卡, 与计算机联机, 对异形回转体轮廓的三维尺寸进行非接触测量, 取得了满意的
效果。
收稿 日期: 1997年5月23 日
100 光学 精密工程 5卷
2 测量原理及方法
CCD 图像测量原理如图1所示。
F ig . 1 T h e p r in cip le o f m ea su rem en t
当入射光在CCD 像元上成像时, 入射光被CCD 像元吸收并产生相应数量的光生电荷。在
光积分期间, 光生电荷被积累并存储在彼此隔离的像元的势阱中, 每个像元势阱中所积累的信
号电荷数与照射在该像元面上的平均照度和光积分时间的乘积成正比。在电荷转移期间, 光生
电荷依次转移至输出区, 通过复位脉冲的控制, 在输出级形成视频信号。每次积分的输出波形
代表 目标光图像在CCD 采样方向的瞬态强度的空间分布。由CCD 输出的模拟信号是一个个
脉冲信号, 这些随时间变化的脉冲信号与随空间分布的光敏像元光强对应, 通过物距、像距关
系及CCD 输出脉冲量的计算来检测零件尺寸。
本文针对异形回转体零件轮廓尺寸的检测进行研究, 例如工件尺寸为R = 100 mm 到R
= 120 mm 的变化范围的异形回转体零件。考虑零件尺寸较大, 如采用全视场的接收工件图
像, CCD 采集到的是一个缩小倍率很大的像, 这将引入较大误差。图2所示的测量方案利用对
工件轮廓边缘进行局部检测, 将提高图像测量系统的分辨率和精度, 有效地满足了测量精度的
要求。
F ig. 2 Sch e
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