脉冲激光诱导向前转移关键技术研究-机械工程专业论文.docxVIP

优秀毕业论文 精品参考文献资料 摘要摘要 摘要 摘要 随着激光器的问世，激光微加工技术得到越来越多的关注和研究。纳秒、皮秒、 飞秒激光因其具有脉宽窄、峰值功率高、相干性好等特点，被广泛应用在MEMS器件 的制作，表面改性等微精细加工领域。 激光诱导向前转移技术(LIFT)是近年来发展起来的一种激光微加工技术。具有 适应性强，加工精度高，成本低廉，绿色环保，适用范围广等诸多优点。本课题结果 LIFT技术主要进行了以下方面的研究： 1．对单脉冲激光下转移碳化硅进行了一系列的研究，研究了532nm下涂层和悬浊 液时的不同结果，并且研究了激光能量的影响。随着激光能量的增大，接收靶材不论 是PET还是铝片，上面的碳化硅颗粒分布面积都随着增加；且由于两种靶材的屈服强 度的不同使得在PET上面的颗粒分布要大；使用碳化硅涂层作“源”材料时的颗粒分 布面积比使用碳化硅悬浊液时的大，一方面是因为固体颗粒涂层吸收的能量比悬浊液 多，另一方面悬浊液的阻尼效应比空气大。最终的实验采用效果较好的碳化硅涂层来 进行下一步实验。之后发现使用1064rim波长时颗粒分散效果要比532nm波长下的好， 进而分别研究了1064nm波长下激光脉冲能量、离焦距离、接收距离对颗粒分布的影响。 激光能量的增大使得颗粒分布要堆积状变为“环”状，这是因为激光能量达到足够高 时对碳化硅的分解作用越明显：离焦距离的增大使得颗粒分布范围变大之后一直减小， 这主要是由激光光束的高斯分布特性造成的；接收距离越大，靶材上面颗粒分布的越 分散，转移过程中颗粒的运动特性对这起了主要作用。并且根据单因素的实验结果选 择了合适的变量进行了正交实验，通过正交实验得出接收距离是对颗粒面积比影响最 大的参数，在实验所用参数范围内：接收距离250pm、离焦距离10009m、激光能量 17．4mJ时颗粒分散最厉害，接收距离1000pm、离焦距离2509m、激光能量5mJ时颗 粒分布最集中。 2．研究了1064nm激光下单线结构和大面积涂层的制作。当脉冲间距很小时， 并不能实现单线的制作，一方面是由于冲击波的作用范围比聚焦光斑范围大很 多，另一方面，下一个脉冲有时候会直接不通过涂层作用到靶材上面进而对靶 材进行烧蚀作用。实验通过进行工艺优化制作出了比较连续的碳化硅单线结构 和比较均匀的碳化硅大面积涂层。 万方数据 广东工业大学硕士学住论文3 广东工业大学硕士学住论文 3．研究了激光诱导转移铜箔。本章利用激光诱导向前转移技术通过烧蚀铜箔的方法 完成了铜在玻璃上的沉积，并且进一步制作出了铜线。沉积点形貌呈现中间颗粒状周 围片状，这是由激光与铜箔作用中使得铜箔产生中心部分熔融态周围固态的状态分布 引起的。通过正交实验分析出了激光能量对转移面积影响最大，其次是脉冲个数最后 是离焦程度。沉积得到的铜线虽然电阻率跟铜的相差很大，但基本满足了导线的要求。 关键词：脉冲激光；激光诱导向前转移；碳化硅；微制造；铜箔 万方数据 AbstractAbstract Abstract Abstract With the advent and development of laser,laser machining technology has been gotten more and more attention and research．Due to narrow pulse width，high peak power,good laser coherence and high repetition frequencg nanosecond，picoseconds and femtosecond pulse lasers have been widely used in micromachining field，such as MEMS devices，surface modification,etc． Laser induced forward transfer(LIFT)is a kind of laser micromachining technology developed in recent years．It has many advantages，such as fast，flexible，adaptable，green． high precision，low cost and SO Oil．The results of this research are mainly about the following aspects of LIFT Technology： 1．The single pulse laser transfer SiC were carried out a series of studies．Wi