变形反射镜红外光学薄膜研究光学工程专业论文.docxVIP

摘隹requirements 摘隹 requirements for practical uses． Some experimental results about infrared thin film of deformable mirror are reported．It would not only enrich the contents of the deformable mirror technology, hut also would drive and accelerate the development of the adoptive optic technology in China． Key words Deformable mirror,infrared thin film．Residual stress of infrared thin film， Surface defects ofinfrared thin film II 本人申明本人郑重申明：所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下，独立进 本人申明 本人郑重申明：所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下，独立进 行研究所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论文不包含任何 其他个人或集体已经发表或撰写过的科研成果。对本文的研究做出重要贡 献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的 法律责任由本人承担。 论文作者签名：蟊龊圣 日期： 旌!垒：!f：!! 关于学位论文使用授权的声明 本人完全了解中国科学院光电技术研究所有关保留、使用学位论文的 规定，同意中国科学院光电技术研究所保留或向国家有关部门或机构送交 论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅；本人授权中国科学院光 电技术研究所可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检 索，可以采用影印、缩印或其他复制手段保存论文和汇编本学位论文。 (保密论文在解密后应遵守此规定) 论文作者签名：i迄纽缉 导师签名： 日期： 第一节前等第一章前言 第一节前等 第一章前言 在fj适融光学系统中对波前误芹的补偿是由变形反射镜完成的。变形反射镜 足一种与传统光学元件完全不问的能动光学器件，它能在外加作用力的控制F， 实现高速高精度的光学镜面耐形变化、平移或转角，从而改变光学系统的波阿相 位。变形反射镜的发展水平从某种意义上代表了自适应光学技术的发展水平 。 变形反射镜控制光束要达到一定的功能，就需要在变形反射镜基底上镀制不 同的光学薄膜，以满足光学系统对元件的功能要求。变形反射镜红外光学薄膜是 自适应光学系统中关键的设计依据之一，研究变形反射镜红外光学薄膜意义藿 大，并且很育实用价值。 本论文是针对自适应光学系统的应用需求，为解决变形反射镜红外光学薄膜 的残余应力与缺陷等关键问题而丌展的研究工作，因此下面对变形反射镜红外光 学薄膜中的残余应力弓缺陷进行简要介绍，最后阐述论文主要内容。 1．1自适应光学中的变形反射镜“棚 变形反射镜不仅具有～骰光学元件的静念性能，而且还应有一系列动念性 能。变形反射镜有多种类型。按镜面形式，可分为分块镜面变形反射镜和连续镜 面变形反射镜两大类。这些变形反射镜的动作部是靠驱动器的推动束实现的，因 此驱动器的性能在很大程度上决定了变形反射镜的性能。变形反射镜驱动器的数 目越多，对波莳畸变的补偿能力也越高。变形反射镜驱动器的数目可以衡量一个 自适应光学系统的复杂程度和技术水平。对变形反射镜育一系列性能要求，主要 有 ： (1)校萨单无数。印控制镜面变形的驱动器数量，它决定了系统对波di误 差的拟合能力或宅间带宽。单元数较少的变形反射镜，对破饺JF波前的拟合饯蔗 大，对阶次较高的波前头至没骨校11．能力。fFl睁无数增多，不仅增加变形反射镜 本身的复杂性，刚时也增加移个fj适应光学系统的复杂性，测此必须根挢：使用要 求确定适’_的簟无数。 中旧{}学院圯IU技求I—J|’C所博I+学伸沦卫‘2006(2)最人变形量．灵敏噎和滞后。报掘系统需饺lii的波前误差特性确定变 中旧{}学院圯IU技求I—J|’C所博I+学伸沦卫‘2006 (2)最人变形量．灵敏噎和滞后。报掘系统需饺lii的波前误差特性确定变 形反射镜的最大变形鞋。对簪远镜，除故l}i人气湍流外，还应㈦时校lF光学系统 的静念误差。冈此变形甓应考虑所囱．被故jT：误差的总和。f}l足增大变形反射镜的 变形镀『川时将降低其面形稳定惟。灵敏度足指袒位电压产7卜的变形。滞后和j}线 性已经色驱动器一节中说明。一股变形反射镜的最小可分辨变形量足I}{高瓜放大 器的纹波和噪声以及波前控制器的输出电压分辨；餐所决定的，因此变形璧火的变 形反射镜要求驱动变形反射镜的高压放夫器应具有较高的增益和很小的