纳米科学与技术原子力显微镜.ppt

原子力显微镜 立式AFM ( Hansma等, 1988 ) AFM的三种扫描成像模式 AFM轻敲扫描针尖振荡示意图 石墨H位上的两种电荷密度分布 4. 试件表面廓形高低起伏不平对测量结果的影响 不同ω/ω0比值时的微悬臂振幅 存在F 双压电晶片驱动微悬臂的振动 振动的试件驱动微悬臂振动 振动试件驱动时的振动 力梯度F’使微悬臂的共振产生变化 力调制技术检测试件表面硬度变化 云母AFM图像 AFM图像-积层电路 AFM图像-材料缺陷 6) 粘晶须针尖的微悬臂 晶须 气体源 1μm a) 晶须 b) 晶须生长 GaAs晶须及其沉积生长过程 V形微悬臂上用环氧树脂粘ZnO晶须针尖 7) 碳纳米管针尖的微悬臂 a) 硅针尖加碳纳米管 b)局部放大 c)尖端放大 AFM的碳纳米管探针尖(H.Dai) 3. 微悬臂的力学性能分析 1) 对微悬臂的力学性能要求 要求它能高灵敏度地检测出在针尖上的作用力，并将此作用力转化成能测量的微悬臂形变或位置偏移。 为使针尖扫描时能随迅速变化起伏的试件表面廓形上下，微悬臂必须有足够高的自振频率。 2) 矩形薄片微悬臂的力学计算 l F Δzl 悬臂梁自由端最大挠度Δz1 悬臂梁的弹簧常数k 悬臂梁的固有频率ω1 me = 0.24 md + mc 3) 圆柱形细丝微悬臂的力学计算 4) 若干AFM的微悬臂的物理力学性能 ~10 ~10 ~10 ~10 ~10 ~10 ~10 0.4 14 2.2 7 Φ 0.005х0.25 细丝在V形悬臂上 石英 纤维 0. 5 14 1.8 2 Φ 0.005х0.25 细丝在V形悬臂上 炭纤维 0.004 8 3.1 32 0.2х0.036х0.003 V形 Si3N4 0.2 40 2.6 5 0.2х0.2х0.002 矩形薄片 SiΟ2 25 2 19.3 8 Φ 0.05х5 圆柱细丝 Au 105 5 19.3 34 Φ 0.05х5 圆柱细丝 W 5000 22 8.9 22 Φ 0.25х4 圆柱细丝 Ni 力灵敏度 N/0.01nm 弹簧常数kN / m 固有频率kHz 质量密度ρg / cm3 弹性模量E1010 N/ m3 微悬臂尺寸 mm 微悬臂形状 材料 3. 7 AFM针尖作用力和悬臂变形位移的测量 1. 对检测针尖作用力和微悬臂位移变形量的要求 通过测量受力后微悬臂的变形位移, 而获得作用力的变化信息； 使用力调制技术测出力梯度的变化，因为梯度变化使调制信的频率和相位产生变化，从而 获得作用力的变化信息。现在第一类方法，因测量操作要简单些，用得较多； 微悬臂使用力敏材料制造, 微悬臂受力后变形产生电阻变化，从电阻变化量而测出微悬臂的受力变形量； 微悬臂制成交指型，针尖受力微悬臂变形偏转，从微悬臂反射的光束将产生多级衍射条纹，从而测出微悬臂的受力变形量。这方法不仅测量分辨率甚高，而且可以在AFM采用多微悬臂平行阵列时的测量。 2. 隧道电流测量法检测针尖和微悬臂位移 这测量方法的垂直分辨率甚高，达到10-2 nm； 影响因素较多。 3. 电容测量法 4. 光干涉测量法 1)悬臂和针尖可以允许一定程度的污染，故比隧道电流检测法更可靠； 2)检测系统加在微悬臂上的力极小，可以忽略不计； 3)由于光束直径较大，故对微悬臂背面的粗糙度不甚敏感； 4)用光学检测法时, 允许微悬臂有较大的形变位移（可以超过100 nm），而隧道电流法检测时，允许的最大位移不到1 nm； 5)对微悬臂材料无导电性能要求; 6)检测结果稳定可靠。 激光干涉测量法 5. 激光反射测量法 激光反射测量法测微悬臂形变位移 光电检测器 激光 微悬臂 XY扫描工作台 3.8 微悬臂的激振 1. 微悬臂需要激振的原因 2. 双压电晶片振动驱动器 3. 用双压电晶片驱动微悬臂振动 机械制造及自动化系 纳米科学与技术 第3章 原子力显微镜 机械制造及其自动化 哈尔滨工业大学机电工程学院 航空宇航制造工程系 3.1 原子力显微镜简介 1. 原子力显微镜的发明和扫描力显微镜的发展 2. 原子力显微镜的基本工作原理 试件 微悬臂和探针 压电扫描器 显示器 计算机 及控制器 激光 探测器 ST M 探针 AFM 探针 ST M 驱动 AF M 扫描驱动 试件 微悬臂 原子力显微镜后来又经过多次改进，现代的AFM不仅有原子级的分辨率(纵向0.01nm，横向0.1 nm)，针尖对试件的作用力极小，